摘要
a@? $#> 1XN%&VR>^D 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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u/W{JPlL Z*Ffdh>*:& 设计任务
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VY/r2o# 6`9QGi,) 1级
参数优化
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(B\Kb4m xDe^>(," 结果-容差分析
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Q8HNST($? )-+tN>Bb 结果-容差分析
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G,A?yM'Vw VirtualLab Fusion一瞥
e[k\VYj[ Cdl"TZ<
LEKE+775 wPghgjF{ VirtualLab Fusion中的工作流程
em'3 8L|( #p"F$@N 构建光栅结构
Tx?s?DwC −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
KUW )F −倾斜光栅高级设定[用例]
ft8 •光栅衍射效率分析
+4t
\j<T −光栅阶序分析器[用例]
{(-TWh7V •使用参数优化进行光栅参数优化
=2Ju)!%wr •使用参数运行的容差分析
J{Ij PJb/tKC
=[4C[s H{P*d=9v VirtualLab Fusion技术
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