摘要
NU{`eM vpL3XYs` 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
W1;u%>Uh NpN-''B\ F* h\ #? 7f,!xh$ 设计任务
R!2oj_ &m8Z3+Ea j8|N;;MN
SdM@7%UK 1级
参数优化
V9cKl[ ObIL w . ]D7Il +q-/~G' 结果-容差分析
Gr}lr gP S *Z:'jV< 5*P+c(= 0kOl,%Ey 结果-容差分析
>J,y1jzJ v[J"/:] .|Y&,?k|Y ( {}Z
' VirtualLab Fusion一瞥
&8R!`uh1 4Ow0g-{ TOC2[mc' 'vc>uY VirtualLab Fusion中的工作流程
W<sa6,$ (m%A>e
B 构建光栅结构
~P;KO40K −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
m&!4*D −倾斜光栅高级设定[用例]
2T >K!jS •光栅衍射效率分析
@&fAR2 −光栅阶序分析器[用例]
io{\+%;b~ •使用参数优化进行光栅参数优化
*uG!U%jY) •使用参数运行的容差分析
Ap)[;_9BD 4/:}K>S_ 5@&{%99 4_&+]S VirtualLab Fusion技术
NuQ
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