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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 dI\_I]  
    bdWdvd:  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 X[$h &]  
    '/<\X{l8  
    ^>E>\uz0v  
     v'?Smd1v /  
    建模任务 -]^JaQw  
    [TA.|7&  
    Xb:* KeZq  
    概述 @K!JE w\  
    </;e$fh`  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Lan|(!aW  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 9xbT?$^  
    oIO@#   
     CtMqE+j^  
    BlpyE[h T  
    光线追迹仿真 vQCb?+X&  
    :PBFFLe  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 bK6^<,~  
    •单击go！ 8a*&,W  
    •获得了3D光线追迹结果。 2n3&uvf'TL  
    j-BNHX  
     >rlUV"8jY;  
    w=fWW^>bP  
    光线追迹仿真 )&T 5 /+  
    Jw5@#j  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 O>~@>/#  
    •单击go！ EHq; eF  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 wL~A L  
    c<Cf|W  
     ?ja%*0 R  
    k}:;`ST  
    场追迹仿真 Lp-$Ie  
    Njg87tKB  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 j~Pw t9G  
    •单击go！ +%TgX&a  
    ~8&->?{  
    <5%*"v  
     P<X?  
    场追迹仿真（相机探测器） b4wT3  
    /1Gmga5  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 gpyio1V>  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 B`)sc ~u  
    WYF8?1dt +  
     W5'6L =WG  
    *~GI-h  
    场追迹仿真（电磁场探测器） >"IG\//I  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %Qz<Lk">.  
    MOh&1]2j5  
    ,sSo\%  
     R"XycXn_$  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Fc[vs52  
     7WH'GoBh  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 F(.`@OO  
    vTFG*\Cq  
     ZRYlm$C  
     
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