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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-14
    摘要 /*e6('9s  
    ~xt]g zp{  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 %:N;+1  
    pmc)$3u  
    V='A;gs  
     >ud u~  
    建模任务 Vl/fkd,Z  
    F60?%gg  
    =wznkqyhi  
    概述 ~A_1he~  
    )nlFyWXh.  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 #H;1)G(/  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 i hcSSUm  
    s0m k<>z  
     I{i6e'.jP  
    4ufT-&m};s  
    光线追迹仿真 #_Z)2ESX  
    U;#G $  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 "2ZuI; w  
    •单击go！ NtNCt;_R7  
    •获得了3D光线追迹结果。 #xh M&X  
    nT9Hw~f<j  
     89UR w9  
    E&dxM{`  
    光线追迹仿真 )Lg~2]'?j  
    w1LZ\nA<  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 QYps5zcn  
    •单击go！ 3QCCX$,  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 {hoe^07XK  
    y#FFxSH>  
     X7txAp.  
    3LZvlcLb  
    场追迹仿真 X*M2 O%g`L  
    U#`2~Qv/1  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 d%:J-UtG"  
    •单击go！ 5DJ!:QY!  
    tA^CuJR  
    S^iT &;,  
     )JhB!P(  
    场追迹仿真（相机探测器） xy]oj  
    _k#!^AJ}x  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。  S8O,{  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 @w(X}q1  
    8On MtP  
     8x-(7[#e<g  
    %$N,6}n  
    场追迹仿真（电磁场探测器） +1^L35\@  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 F{Oaxn  
    "A0y&^4B@  
    =R)w=ce  
     #u3E{NB  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Bm  4$  
     u/ri {neP{  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 X|C=Q   
    %~[@5<p  
     K{:[0oIHc  
     
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