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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    5119
    光币
    19911
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-14
    摘要 Exu5|0AAE  
    $;k2b4u  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 p-qt?A  
      (4GDh%  
    %U<1]  
     3EVAB0/$  
    建模任务 ;Z asK0  
    NKX,[o1  
    [yyL2=7  
    概述 sY%nPf~9q'  
    '{-7%>`bn  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 <3SO1@?  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ]YF_c,Q  
    .%x1%TN  
     Y|3n^%I  
    Q 1:7 9  
    光线追迹仿真  mS]&  
    Szb#:C  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 uXm_ pQpF  
    •单击go！ A0A]#=S  
    •获得了3D光线追迹结果。 CGp7 Tx#  
    nS` :)#;  
     T {![a{  
    mne?r3d  
    光线追迹仿真 kGkfLY6B  
    5ltrr(MeD  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 |[3%^!f\  
    •单击go！ p~evPTHnrX  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Y9w^F_relL  
    UG,<\k&  
     U;q GUqI  
    ]Jum(1Bo  
    场追迹仿真 gK#G8V-,  
    UXdnN;0  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 -ld1o+'`v!  
    •单击go！ =[D '3JB  
    vIQu"J&fE  
    `^G?+p2E  
     "BvAiT{u  
    场追迹仿真（相机探测器） XD8Q2un  
    "oLY";0(=  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ` JZ`j7f  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 (j%;)PTe+&  
    $:u5XJx  
     nvOJY6)$V  
    ZDl6 F`  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Fu$JI8  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 hVl^vw7o  
    ?]/"AWUX  
    :H8`z8=0f{  
     ;%YAiW8{Xk  
    场追迹仿真（电磁场探测器） a j13cC$  
     g54b}vzm  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 F4|U\,g  
    ^)%TQ.  
     RK\$>KFE  
     
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