[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

1.摘要 Q'rX]kk_  
"gt*k#  
白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 @XH@i+{B  
   on f
7V  

图片:1-191204120226228.png

!uhh_3RH  
:(i=> ~O  
2. 建模任务 Zc=#Y  
hho\e 8  

图片:1-19120412030c28.png

<#lNi.?.  
   2l+t-  
3. 干涉条纹的变化 U-#vssJhk  
v#9Uy}NJ9  

图片:1-191204120352336.png

`Wu.wx  
8%;]]{(B  
4. 走进VirtualLab Fusion NZuylQ)0  
wAr
zMt}[  

图片:1-1912041204141I.png

3MoVIf1  
   Rc~63![O.  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 V/J-zH&  
df9$k0Fx  

• 输入场设置

• 基本光源模型[视频教程]

• 定义元件的位置和方向

• 光路图II：位置和方向[视频教程]

• 正确设置非序列追迹通道

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]

• 使用“参数运行”检查影响/变化

• “参数运行文件”的使用[使用案例]

图片:1-191204120454308.png

0~cbB  
y9K'(/  
6. VirtualLab Fusion 技术 kQ.3J.Q5  
8b $e)  

图片:1-19120412051Q53.png