1.
摘要 2K3{hxB o}$EG 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
I= &stsH Jl&-,Vjb 3nhXZOO1 hy`?E6=9+ 2. 建模任务
'JRvP!] zR{W?_cV m8o(J\] aP/T<QZ~ 3. 干涉条纹的变化
v+X)Qmzf~ MP>dW nl 6=fSE=]DY nYX@J6! 4. 走进VirtualLab Fusion
;t|Ii8Ne m5r7 j!7{|EQFcl {62n7'U{ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
W#hj 1 4/wa+Y+=vt LL3#5AA"k| IkGfnXJ 6. VirtualLab Fusion 技术
"\3B^ e, e8GEoD