1.
摘要 !2)$lM1@J jl;%?bx 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
os<B}D[ Jww LAQ5 fdIO'L_ 1LbJR'} 2. 建模任务
^-,
aB b~khb!] 1gEeZ\B-& Y)kO" 3. 干涉条纹的变化
#{]X<et a#iJXI `'Fz:i 9? xMsu-H 4. 走进VirtualLab Fusion
3cuVyf<v F;5S2:a@Z A.aUWh K5O8G 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
$"z|^ze :wn9bCom?M |p"P+"# xEt".K 6. VirtualLab Fusion 技术
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