1.
摘要 7g}4gX's % ribxgmd 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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K 2. 建模任务
'm}K$h(U _JOrGVmD o1YX^-<[F 5 :6^533] 3. 干涉条纹的变化
R8P7JY[h |4aV~n[># Gp'rN}i^ ;X-~C.7k 4. 走进VirtualLab Fusion
1O*5>dkX;% yjvzA|(YC z8{ kwz 8hba3L_Z 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
zvYkWaa_Qz a_4Ny F2]v]]F! =:n>yZ3T 6. VirtualLab Fusion 技术
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