1.
摘要 8nzDLFxp_ S ]_iobWK 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
l":\@rm` MTm}qx@L IM-O<T6r[N 7lQ@I}i 2. 建模任务
)anprhc V~nqPh!Jc H@ab]& PVfky@wl" 3. 干涉条纹的变化
)1#J4 {O24:'K& N %;bV@A9 62L,/?`B$ 4. 走进VirtualLab Fusion
< cNJrer B?bdHO:E~ 2G=prS`s ck0K^o v 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
-^C^3pms Cp!bsasj *@;Pns]L- KK-}&N8 6. VirtualLab Fusion 技术
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