[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

1.摘要 MD|T4PPz,}  
2S,N9(7  
白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 e%[0
NVo  
   K-,4eq!
 

图片:1-191204120226228.png

#K#BNpG|  
4|U$ON?x  
2. 建模任务 H1Jk_@b  
?qC6p|H  

图片:1-19120412030c28.png

yM}~]aQ y  
   >^:
*x_a9  
3. 干涉条纹的变化 ty 
ESDp%  
{&dbxj-'  

图片:1-191204120352336.png

c~``)N  
I-Q@
v`  
4. 走进VirtualLab Fusion }_mVXjF  
A4uKE"WE  

图片:1-1912041204141I.png

(fA>@
5n  
   #)r^ZA&E  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 Sy@)Q[A  
[g<Y,0,J  

• 输入场设置

• 基本光源模型[视频教程]

• 定义元件的位置和方向

• 光路图II：位置和方向[视频教程]

• 正确设置非序列追迹通道

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]

• 使用“参数运行”检查影响/变化

• “参数运行文件”的使用[使用案例]

图片:1-191204120454308.png

r{>`"  
2]of4  
6. VirtualLab Fusion 技术 pq"Z,9,F%  
z`}z7e'>  

图片:1-19120412051Q53.png