1.
摘要 f- k|w%R@ C`yvBt40r 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
y;{^Ln4{ =$)4: )DGz`-> !sfXq"F 2. 建模任务
7|+|\7l# jIx8k8 ;LQ# *NjL\ w PG1P'w; 3. 干涉条纹的变化
Ss#@=:"P J8u{K.(*7 "'z,[v50& wDT>">&d 4. 走进VirtualLab Fusion
LC,*H0 4GU/V\e| n)
_dH/" 2qs>Bshf 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
Hhe{ +W@~ ZR;8rZ]( u0bfX,e2U BR& Aq 6. VirtualLab Fusion 技术
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