1.
摘要 O-P`HKr :R$v7{1 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
`R lWhdE w7vQ6jkH .f!:@fX>= m"AyO"}I5 2. 建模任务
st#^pWL s!Iinc^p &lxMVynL +8GxX$ 3. 干涉条纹的变化
r]wy-GT o_[I#PT N%u4uLP5k 2|`Mb~E; 4. 走进VirtualLab Fusion
TY` R_ [?g}<fa 6Yqqq[#V/ '[HU!8F 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
g|4>S<uC XSx'@ qH ma"M? aM FR]uCH 6. VirtualLab Fusion 技术
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