1.
摘要 i(~DhXz*T \$ 9C1@B@ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
]_C"A gvP-doA7W 2u.0AG @i ~ A7L0/ 2. 建模任务
HK)m^!= nJI2IPZ _[rFnyC+0V jNj;#C) 3. 干涉条纹的变化
A]c'TT@6 X>I3N?5 )N 3^r>(e< oAO{4xP 4. 走进VirtualLab Fusion
y[N0P0r l: Gz&} OO y:)^*2GA-B !!\}-r^y% 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
]i
{yJ)i sVx}(J |]-Zz7N) fd[N]I3 6. VirtualLab Fusion 技术
m%0-3c( @gN"Q\;F