1.
摘要 VO -784I ,cQA*;6 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
G8P+A1
f/> K%2I dXZP[K# cjY@Ot*i$ 2. 建模任务
)%#?3X^sI ;&mxqY8`' 3^ ~Zj95M EXHR(t}e 3. 干涉条纹的变化
%UG/ak%z |[WL2< <Kp+&(l,l PP4d?+;V 4. 走进VirtualLab Fusion
?*o;o?5s^ Fwv\ pJ}$ MPG+B/P& ZgBckb 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
;MZbL) )0F^NU I~k=3,7< swt\Ru6, 6. VirtualLab Fusion 技术
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