1.
摘要 $ S3b<]B XNx$^I= 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
IEm~^D#<= f4AN"rW ^1c7\"{ mE{QT ZS 2. 建模任务
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P/R 3. 干涉条纹的变化
|6?s?tC"u #E=8kbD7 2.Ww(`swL 05HCr"k 4. 走进VirtualLab Fusion
#l&*&R~> iNl<<0a 3SbZD UMNNAX 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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eW5 Z/: yYSq \fC;b"j 6. VirtualLab Fusion 技术
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