[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 #Qw0&kM7I  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 {f_={k  
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建模任务 f3l&3hC  
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仿真干涉条纹 eI}aQ]$ED  
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走进VirtualLab Fusion BGZ#wru  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 <Xhm`rH  
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•设置输入场 aH(J,XY  
−基本光源模型[教程视频] h]&GLb&<?  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 {GT*ZU*  
•定义元件的位置和方向 bn&TF3b  
− LPD II：位置和方向[教程视频] #<"~~2?  
•正确设置通道以进行非序列追迹 %bn jgy  
−非序列追迹的通道设置[用例] PCee<W_%YE  
•使用参数运行检查影响/变化 sRR(`0Zp  
−参数运行文档的使用[用例] S"QWB`W2  
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VirtualLab Fusion技术 ea2ayT  
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