摘要
$m] ~d6 |FG t' 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
n|dLK.Q M)C. b o{p q$`{$RX FVNxjMm, 建模任务
dtw1Am#Ci ~gQ$etPd <GC<uB |p 仿真干涉条纹
+QT(~< C2NJrg4( t33/QW
r 走进VirtualLab Fusion
JG @bl Y4e64`V) t<mT=(zt* -fFM-gt^t VirtualLab Fusion中的工作流程
Q]9H9?}N? Aq@_^mq1A •设置输入场
Sr Z\] −基本光源
模型[教程视频]
xjB2?:/2 •使用导入的数据自定义表面轮廓
N>!RKf:ir •定义元件的位置和方向
>MZWm6M8 − LPD II：位置和方向[教程视频]
teH $hd-q •正确设置通道以进行非
序列追迹
s1. YH?A; −非序列追迹的通道设置[用例]
0i/l2&x*k] •使用
参数运行检查影响/变化
aRPgo0,W1 −参数运行文档的使用[用例]
WW82=2rJ9 Rs,\{# v*`$is+ k_?xi OSh VirtualLab Fusion技术
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