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    [技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-13
    摘要 u?+Kkkk  
    :hM/f  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 i@4~.iZ8  
    Q_t`.jus  
    K3=3~uY  
    g>J<%z, }2  
    建模任务 J.8IwN1E  
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    Ovj^IjG-`  
    仿真干涉条纹 RoyPrO [3  
    V<j.xd7  
    Lliq j1&  
    走进VirtualLab Fusion gmm|A9+tv  
    mL4]l(U  
    l~ M_S<4n  
    vPD] hs  
    VirtualLab Fusion中的工作流程 [h,QBz  
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    •设置输入场 PpgP&;z4  
    −基本光源模型[教程视频] VhNz8)  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 ; k)@DX  
    •定义元件的位置和方向 d`F&aC  
    − LPD II:位置和方向[教程视频] q5#J~n8Wr  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 zA1lca0HK  
    −非序列追迹的通道设置[用例] MzL1Bh!M  
    •使用参数运行检查影响/变化 p8]68!=W\F  
    −参数运行文档的使用[用例] /jRRf"B  
    *;Ed*ibf  
    B~_d^`  
    t8dm)s[r8  
    VirtualLab Fusion技术 sx`O8t  
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