摘要
H_;Dq* 6N.mSnp 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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aVuan&]*= )ACa0V>*p 建模任务
v)N6ZOj*C pvy;L[c m|~,# d@ 仿真干涉条纹
c%pW'UE& O~d!*A eJ{"\c( 走进VirtualLab Fusion
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#CV(F$\1{ "+nURdicO VirtualLab Fusion中的工作流程
toTAWT D 4)2*|w •设置输入场
*-+~H1tP −基本光源
模型[教程视频]
!::k\}DS •使用导入的数据自定义表面轮廓
{KwLcSn •定义元件的位置和方向
nS?HH6H − LPD II:位置和方向[教程视频]
|BH,
H •正确设置通道以进行非
序列追迹
rA*,)I_v@ −非序列追迹的通道设置[用例]
l0D.7>aj •使用
参数运行检查影响/变化
Z+t?ah00 −参数运行文档的使用[用例]
Xki/5roCQ| eV9:AN }K=
"G6d'xkP &[*<> VirtualLab Fusion技术
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