[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 8VnZ@*  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 K+Qg=vGY  
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建模任务 uIu0"pv`x  
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仿真干涉条纹 @S}'_g   
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走进VirtualLab Fusion PHoW|K_e  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 R]dB Uu  
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•设置输入场 _LK(j;6K}  
−基本光源模型[教程视频] wo/H:3^N  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 ,[x'S>N  
•定义元件的位置和方向 B:l(`G  
− LPD II：位置和方向[教程视频] 
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•正确设置通道以进行非序列追迹 Sb<=ROCg@  
−非序列追迹的通道设置[用例] opBvx>S  
•使用参数运行检查影响/变化 h)w<{/p(  
−参数运行文档的使用[用例] r8qee$^M  
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VirtualLab Fusion技术 jE{z4en  
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