摘要
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干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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q{&c?l*2 i+O7," (@ 建模任务
14'\@xJMM aC}\`.Kb -6DRX 仿真干涉条纹
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D 走进VirtualLab Fusion
fhN\AjB6Td B{Vc-qJ 
&7\}S qp PoaCnoNS VirtualLab Fusion中的工作流程
FQO=}0Hl jm%s#`)g •设置输入场
f%EHzm/V −基本光源
模型[教程视频]
~!Sd|e:4 •使用导入的数据自定义表面轮廓
CqEbQ>? •定义元件的位置和方向
3]vVuQK . − LPD II：位置和方向[教程视频]
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[_t FM •正确设置通道以进行非
序列追迹
Q*<KX2O −非序列追迹的通道设置[用例]
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86 g y/ •使用
参数运行检查影响/变化
ZS+m}.,whQ −参数运行文档的使用[用例]
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S~:uOm2t\ WS[Z[O VirtualLab Fusion技术
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