摘要
u?+Kkkk :hM/f 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
i@4~.iZ8 Q_t`.jus
K3=3~uY g>J<%z,}2 建模任务
J.8IwN1E L@gWzC~?Q Ovj^IjG-` 仿真干涉条纹
RoyPrO [3
V<j.xd7 Lliqj1& 走进VirtualLab Fusion
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l~M_S<4n vPD]hs VirtualLab Fusion中的工作流程
[h,Q Bz n-%s8aaVf •设置输入场
PpgP&;z4 −基本光源
模型[教程视频]
VhNz8) •使用导入的数据自定义表面轮廓
;
k)@DX •定义元件的位置和方向
d`F&aC − LPD II:位置和方向[教程视频]
q5#J~n8Wr •正确设置通道以进行非
序列追迹
zA1lca0HK −非序列追迹的通道设置[用例]
MzL1Bh!M •使用
参数运行检查影响/变化
p8]68!=W\F −参数运行文档的使用[用例]
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B~_d^` t8dm)s[r8 VirtualLab Fusion技术
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