摘要
lZvS0JS -_HRqw,Z0 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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|x[ vS#{-X '{CWanTPi 建模任务
Uh%6LPg^ D!/0c]" =R2l3-HA= 仿真干涉条纹
>+SZd7p )6 k1 P BtID;^Dz 走进VirtualLab Fusion
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etQ 1xIFvXru r*]uR /Z$ VirtualLab Fusion中的工作流程
? osfL VW~Xbyf •设置输入场
Zsgi{ −基本光源
模型[教程视频]
716hpj#* •使用导入的数据自定义表面轮廓
fQ1 0O(`g, •定义元件的位置和方向
x*J|i4 − LPD II:位置和方向[教程视频]
BJ2Q 2WW •正确设置通道以进行非
序列追迹
Op90NZI#K −非序列追迹的通道设置[用例]
99EX8 •使用
参数运行检查影响/变化
Ym`1<2mq\ −参数运行文档的使用[用例]
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P TGtyJ3x\ Q~b_dx{m $^ubo5% VirtualLab Fusion技术
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