摘要
5%}wV,Y #*>E*#?t 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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'\SfW< 建模任务
Ac|5. ?|N LG]3hz9^9 ]P[%Mhg^ 仿真干涉条纹
yE} dj)wd %/.a]j! _P?\.W@ 走进VirtualLab Fusion
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E^! _e!F~V. VirtualLab Fusion中的工作流程
voe7l+Xk ]8;n{ }X •设置输入场
j'p1q −基本光源
模型[教程视频]
^ZTGJ(j7~ •使用导入的数据自定义表面轮廓
T5O _LCIws •定义元件的位置和方向
MEiRj]t − LPD II:位置和方向[教程视频]
EC6k{y}bA •正确设置通道以进行非
序列追迹
bqx0d=Z~[ −非序列追迹的通道设置[用例]
_KD5T4FZR •使用
参数运行检查影响/变化
W@\ (nfD2 −参数运行文档的使用[用例]
m?[5J)eR 23DJV);g8 9tg)Mo% V^il$' VirtualLab Fusion技术
Brd,Eg EN!?:RV