摘要
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V:J9 'KM@$2tK^q 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
C#vU'RNpl H?^Poe(=(
CCQ<.iCU }6ec2I%`o 建模任务
]6FpUF#<D 42X[Huy] vvdC.4O 仿真干涉条纹
:Q!U;33aG ;R|5sCb/m /ey}#SHm, 走进VirtualLab Fusion
&5c)qap;n ;h3c+7u1
=d& 0zdH 6& VirtualLab Fusion中的工作流程
,Cde5A{K ~b\bpu •设置输入场
c?j /H$ −基本光源
模型[教程视频]
7n}J}8Y*U2 •使用导入的数据自定义表面轮廓
n1!0KOu/N •定义元件的位置和方向
/oE@F178 − LPD II:位置和方向[教程视频]
)0~zL} )? •正确设置通道以进行非
序列追迹
jQ(qaX&
−非序列追迹的通道设置[用例]
qeHb0G •使用
参数运行检查影响/变化
op/|&H' −参数运行文档的使用[用例]
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c$bb0J% K'Bq@6@C g VirtualLab Fusion技术
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