摘要
^b*ub(5Ot ;`Z>^.CB 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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!0DW` B&}lYo 建模任务
{<i(aq? |^#Z!Hp_Y 8_3WCbe/ 仿真干涉条纹
EpENhC0 z0T6a15f!P +\J+?jOC4S 走进VirtualLab Fusion
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,Uy~O(F t =HMuAUa. VirtualLab Fusion中的工作流程
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p* •设置输入场
!ce,^z&5 −基本光源
模型[教程视频]
4n% |h-!8 •使用导入的数据自定义表面轮廓
)7WLbj!M •定义元件的位置和方向
SnoEi~Da − LPD II：位置和方向[教程视频]
UO-,A j*wW •正确设置通道以进行非
序列追迹
VC^QCuSq −非序列追迹的通道设置[用例]
IOl0=+p •使用
参数运行检查影响/变化
A$TF a:O| −参数运行文档的使用[用例]
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D~,i I7ac ~Yg+bwh VirtualLab Fusion技术
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