摘要
Nol',^) 1>bkVA 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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F0bmGDp@- @`k!7?
Sq 建模任务
2{"Wa|o` ,bmiIW% RK/SeS 仿真干涉条纹
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i3 -7k %,a.431gi !-x^b.${B 走进VirtualLab Fusion
\`{ YqO T -{pcb7.xuv
:Ff1Js(Z itX<! VirtualLab Fusion中的工作流程
ub}t3# V5K`TC^ •设置输入场
?.|qRzWL −基本光源
模型[教程视频]
p4<&N MG •使用导入的数据自定义表面轮廓
[@#P3g\:>W •定义元件的位置和方向
M=26@ n − LPD II:位置和方向[教程视频]
M^mS#<!y •正确设置通道以进行非
序列追迹
R2x(8k"LPU −非序列追迹的通道设置[用例]
S`K8e^] •使用
参数运行检查影响/变化
~8`r.1aUO −参数运行文档的使用[用例]
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O]m,zk -}9ZZ#K VirtualLab Fusion技术
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