摘要
>(*jbL]p AX,Db%`l, 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
^n2w6U0 |Gf{ } JZXc1R| 9 wwAT@=X*} 建模任务
cY"^3Ot%^ |"-,C}O 7}x-({bqy 仿真干涉条纹
@iP6N 3
#wj- 2>!ykUw^O 走进VirtualLab Fusion
_[phs06A ;Pa(nUE@ >gSerDH8\ 8
KkpXaz VirtualLab Fusion中的工作流程
"QF083$ ,pASjFWi •设置输入场
CbHNb~ −基本光源
模型[教程视频]
j%}Jl •使用导入的数据自定义表面轮廓
|d 3agfS[n •定义元件的位置和方向
~?&ijhZ − LPD II:位置和方向[教程视频]
fA8+SaXW% •正确设置通道以进行非
序列追迹
/)I9+s#q9o −非序列追迹的通道设置[用例]
HxM sH5; •使用
参数运行检查影响/变化
yn#h$o< −参数运行文档的使用[用例]
7asq]Y}< R,\
r{@yrz CN=&Je%I `-H:j:U{ VirtualLab Fusion技术
C#~MR+; 5 q ,