摘要
IQY\L@" WVp14Z?k 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
B-'Xk{ BTGPP@p4 So,EPB+ ~#7=gI&p@ 建模任务
,Cde5A{K |*jnJWH4: n$B=Vt, 仿真干涉条纹
M~p=OM< E*j)gj9 sDw&U?gUv 走进VirtualLab Fusion
S'vrO}yU 'I\bz;VT d#Ql>PrY )t&j0`Yq VirtualLab Fusion中的工作流程
1Ep!U#Del mp>,TOi~s7 •设置输入场
6# ,2 −基本光源
模型[教程视频]
dI{)^ •使用导入的数据自定义表面轮廓
$x#Y\dpS •定义元件的位置和方向
Wyw/imr − LPD II:位置和方向[教程视频]
Mp}aJzmkB; •正确设置通道以进行非
序列追迹
68W&qzw.[r −非序列追迹的通道设置[用例]
+{4ziqYj •使用
参数运行检查影响/变化
.Hc]?R] −参数运行文档的使用[用例]
^4h/6^b0c xW!2[.O5H Yfs60f rAM{< VirtualLab Fusion技术
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