摘要
h?cf)L 7t8[M( 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
$?voQ& 99xs5!4s a!OS2Tz: `TugtzRU 建模任务
{\HEUIa]w 2>bTcud> sR(or=ub~ 仿真干涉条纹
Nd5G-eYI /iz{NulOz* \U(;%V 走进VirtualLab Fusion
@jXdQY%{ HLD8W8 -eZ$wn![ |Z), OW VirtualLab Fusion中的工作流程
n2e#rn (Nzup3j •设置输入场
|@Cx%aEKU −基本光源
模型[教程视频]
5"5tY •使用导入的数据自定义表面轮廓
O/Q7{5n •定义元件的位置和方向
P1gW+*? − LPD II:位置和方向[教程视频]
,RP"m#l!\ •正确设置通道以进行非
序列追迹
G[;GP0\N −非序列追迹的通道设置[用例]
?vnO@Bb/a •使用
参数运行检查影响/变化
MM+x}g.? −参数运行文档的使用[用例]
. 5cL+G1k# p }p@])}8 {>x6SVF J(0E'o{ug VirtualLab Fusion技术
S-^:p5{r 4Lg!54P8