摘要
G$*=9` ]D@aMC$# 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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D{8B;+ .yTo)t 建模任务
z4J\BB '9vsv\A& E}w5.1 仿真干涉条纹
hb1h.F VZamR}x JUGq\b&m 走进VirtualLab Fusion
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Xq"9TYf$ o|84yT!~ VirtualLab Fusion中的工作流程
yIpgZ0:h [G+@[9hn% •设置输入场
?o]NV −基本光源
模型[教程视频]
U;ujN 8 •使用导入的数据自定义表面轮廓
*.$ov<E. •定义元件的位置和方向
w5-^Py − LPD II:位置和方向[教程视频]
gi:M= •正确设置通道以进行非
序列追迹
k_^
4NU −非序列追迹的通道设置[用例]
FbdC3G|oA •使用
参数运行检查影响/变化
pR*3Q@Ng −参数运行文档的使用[用例]
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v >6_i us8ce+ VirtualLab Fusion技术
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