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    [技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-13
    摘要 IQY\L@"  
    WVp14Z?k  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 B-'Xk{  
    BTGPP@p4  
    So,EPB+  
    ~#7=gI&p@  
    建模任务 ,Cde5A{K  
    |*jnJWH4:  
    n$B=Vt,  
    仿真干涉条纹 M~p=OM<  
    E*j)gj9  
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    走进VirtualLab Fusion S'vrO}yU  
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    d#Ql>PrY  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 1Ep!U#Del  
    mp>,TOi~s7  
    •设置输入场 6# ,2  
    −基本光源模型[教程视频] dI{)^  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 $x#Y\dpS  
    •定义元件的位置和方向 Wyw/imr  
    − LPD II:位置和方向[教程视频] Mp}aJzmkB;  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 68W&qzw.[r  
    −非序列追迹的通道设置[用例] +{4ziqYj  
    •使用参数运行检查影响/变化 .Hc]?R ]  
    −参数运行文档的使用[用例] ^4h/6^b0c  
    xW!2[.O5H  
    Yfs60f  
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    VirtualLab Fusion技术 Y Dq5%N`  
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