摘要
ta ;o#wK>pk%M 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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f.e4 C, rCH? R 建模任务
Lb=4\ _ RCC~#bb +M s`C)f 仿真干涉条纹
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dr/' (~U1X4 f53WDI6 走进VirtualLab Fusion
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`mp3ORR;$ &al\8 VirtualLab Fusion中的工作流程
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%7 2EAY`}Rl6. •设置输入场
[j;#w,Wb −基本光源
模型[教程视频]
k62KZ5| D •使用导入的数据自定义表面轮廓
5^0K5R6GQf •定义元件的位置和方向
A5q%ytI − LPD II:位置和方向[教程视频]
`21$e •正确设置通道以进行非
序列追迹
_/pdZM,V −非序列追迹的通道设置[用例]
6Gj69Lr •使用
参数运行检查影响/变化
+cf. In,{ −参数运行文档的使用[用例]
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"raC?H @\)a&p]a VirtualLab Fusion技术
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