摘要
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M 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
0IpST iz$FcA] Wk,6) jS=} )ZN(2z 建模任务
U81;7L8 vi<X3G6Xh 2pjW,I!` 仿真干涉条纹
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$+g:> 走进VirtualLab Fusion
}R`Irxv4 w'|&5cS srsK:%` :;q>31:h VirtualLab Fusion中的工作流程
zfirb v8>!Gft •设置输入场
0FTRm2( −基本光源
模型[教程视频]
Y=3X9%v9g •使用导入的数据自定义表面轮廓
0Ux<16# •定义元件的位置和方向
_ r~+p − LPD II:位置和方向[教程视频]
%
<^[j^j}o •正确设置通道以进行非
序列追迹
z^gi[
mi −非序列追迹的通道设置[用例]
v&e-`.xR •使用
参数运行检查影响/变化
L)1C'8). −参数运行文档的使用[用例]
U%h7h`=F? z2.*#xTZn HRj7n<>L= {zY`h6d VirtualLab Fusion技术
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