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摘要 P*6B+8h"5g KfsU RTZ P'6eK? -&*
4~ 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 J!,<NlP0K &i,xod6$ 建模任务 W])<0R52 }Q?,O /8i3 I5* x2\,n 由于组件倾斜引起的干涉条纹 <m#ov G6 6WQT,@? !>{`o/dZ #?Z>o16,u 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 !A
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