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摘要 f1 ; Un?|RF H>~ CL '6so(>| 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 8q2a8I9g x~5uc$ 建模任务
5ZCu6A vObZ|>.J~O MpV<E0CmE p.DQ|? 由于组件倾斜引起的干涉条纹 ,}oAc -F 5BJk vy<W4 PDNl]? 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 3I6ocj[, BU`X_Z1) ?CpVA R\j~X@vI
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