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摘要 M%7|7V<o)^ fP
llN8n '30JJ0 7yOBxb 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 4|DN^F~iut BJ{?S{"6%G 建模任务 QRwO v UI*&@!%bzp bb$1zSA iDYm4sY 由于组件倾斜引起的干涉条纹 Z
4c^6v \jAI~|3 $)'LbOe 4G RHvA. 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 }d@;]cps OXZx!h M{p9b E[j {ea*dX872:
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