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摘要 C' {B Gm \)1b
wy{sS} XsDZ<j%x89 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ]6s/y O*!f%} 建模任务 ^f-)gZ& eVB43]g
hh5h \ZI% <a&xhG} 由于组件倾斜引起的干涉条纹 [2>zaag 9a_UxF+6/
BwGOn)KL H q?F @X 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 ;uv$>Fauk m1X*I
~4Mz:h^ SGba6b31
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