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摘要 ja9u?UbW k+"];
o(tJc}Mh+( fq>{5ODO 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 LVUA"'6V g[~{iu_$d 建模任务 AJ\gDjj< a<-aE4wdm
./I? |ih E:qh}wY 由于组件倾斜引起的干涉条纹 Wrp~OF0k jGouwta
^x0N]/ f}yRTR GJv 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 ]\rQ{No reR@@O
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