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摘要 OBnf5*eJ ]n \Qa i`nmA-Zj[ _DDknQP 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 |_6V+/?"?` kv!QO^;^Y 建模任务 s0zN#'o] ?&gqGU} ^uWPbW&/q @p$Nw.{' 由于组件倾斜引起的干涉条纹 z`Jcpt ?IN'Dc9&%- R^p'gQc$
=00c1v 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 m}-*B1 *XU2%"Sc 04j]W]8# u# TNW.
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