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摘要 _j0xL{&& h# Z,ud_ qP##C&+#q I\c7V~^hnG 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 shy[>\w zF{~Md1 建模任务 /]-yZ0hX0O ~!g2+^G7+P P6ktA-Hv> UHU ,zgM 由于组件倾斜引起的干涉条纹 N'aq4okoL .7 LQ l? [UC_ %,
iAngF' 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 y&O?`"Uv/M v#<{Y'K yJ0%6],^g ) )FLM^dj
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