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摘要 q%x i>H.:{ lW?}Ts~' =p4n@C e#/&A5#Ya 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 LY0f`RX*& oH w!~c7 建模任务 ,^G+<T6
`vH|P Pp }Z" _]*YSeh= 由于组件倾斜引起的干涉条纹 4wSZ'RTSR B/l^=u+- b+a+OI D [@9S-$Xa 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 `:=1*7)? bdWdvd: pK-tj he~8V.$
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