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摘要 `1
A,sXfa VokIc&!Uz !LJE o>D JbX"K< nQ 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 wIQ~a =>3wI'I 建模任务 ( f]@lNmx E.LD1Pm0 KTtB!4by
~?#>QN\\c 由于组件倾斜引起的干涉条纹 H?oBax: RRRF/Z;)) L)(JaZyV5 hQ7-m.UZw 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 .,h>2;f 27J!oin$ 5-*hAOThg yxk:5L \A
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