摘要
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% 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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&m4|cw7 RB|i<`Z
_^NyLI% 3bYjW=_hA 建模任务
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e~BN gn&Zt}@[
j[.nk 光栅特性与参数的严格分析
dDIR~!T f 9Kt>2IN 不同光栅周期下的衍射效率
eLnS1w2 n,2
0Qq<h;8xEc bwH[rT!n 关于光栅周期选择的考虑
Od)y4nr3~ E2d'P
tW/g0lC% cR_ pC
9z 偏振相关的衍射特性
7eAV2. y.c6r> }
J=t}9.H~= 9)NKI02M|
%,~?;JAj G}9f/$'3
\~"Ub"~I {:|3V 7X 通过参数优化进行光栅设计
fBj)HoHQW `Z8k#z'bN 固定周期的2D参数优化
BdF/(Pg w.a9}GC
cw{TS 2D参数优化–设计1
7HBf^N. -(]CFnD_N
k$JOHru [`t ;or 2D参数优化–设计2
9$HBKcO >ItT269G
^n(FO,8c XFvl 制造
公差分析–设计2
_eOC,J<-~ "`V@?+3
%,_ZVgh0 [Hx(a.,d 变化光栅周期的3D参数优化
o+'|j#P wlJi_)!
!>n!Q*\(Ov rR-[CT 制造公差分析
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Y?NL|cW4 Nw1*);b[y 走进
VirtualLab Fusion
z3K$gEve ]s AuL!
Sb /?<$> iX]OF.: VirtualLab Fusion中的工作流程
,3Q~X$f 95z|}16UK
JM|HnyI JM,%|
E •构造光栅
结构 *VsVCUCz5* −
通过使用界面来配置光栅结构 V;xPZ2C; [用例]
=JIceLL •分析光栅衍射效率
z&amYwQcI −
光栅级次分析器[用例]
E6TeZ%g •使用参数运行搜索初始解决方案
'7sf)0\:<p −
参数运行文档的使用[用例]
U
5J
_Y •通过参数优化找到最终设计
eV|N@ ^EX"fRwNi VirtualLab Fusion技术
KD &nLm! J 7R(X
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