[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 Z<[:v2  
q4Y7 HE|ym  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 SH6T\}X:  
rWip[>^  

图片:1-20021G15353423.png

M)sAMfuUw  
|6b&khAM  
建模任务 %G'P!xQhy  
1F{,Zr  

图片:1-20021G15419564.png

*+j r? |  
光栅特性与参数的严格分析 (vwKC D&  
N$<R6DU]
K  
不同光栅周期下的衍射效率 hWRr#030  
6sNw#pqh  

图片:1-20021G15602G5.png

T<o8lL  
G)&S%R!i\N  
关于光栅周期选择的考虑 SX[  
f^G-ba  

图片:1-20021G15641J8.png

jh/aK_Q,w  
+RyV"&v  
偏振相关的衍射特性 1n~^@f#`  
sv+6#  

图片:1-20021G15G0159.png

!u|s8tN.U  
#bGYd}BfD  

图片:1-20021G15I2201.png

:O]US)VSj  
Fq'Ds[wd5  

图片:1-20021G15P2594.png

> QG@P  
   O<y65#68Z  
通过参数优化进行光栅设计 |F&02f!]@  
!twYjOryH[  
固定周期的2D参数优化 Ceew~n{  
Gk:k px  

图片:1-20021G15RaL.png

UZJ#/x5F  
2D参数优化–设计1 .a9f)^  
Jo:S*D  

图片:1-20021G15Z4258.png

S#S&_#$`,X  
a( SJ5t?-2  
2D参数优化–设计2 -{NP3zy  
Nu@dMG<5  

图片:1-20021G20004394.png

O[F  
W:O
p\  
制造公差分析–设计2 M# cJ&+rP  
\W7pSV-U  

图片:1-20021G2002JX.png

M[ ON2P;  
K7wU tg  
变化光栅周期的3D参数优化 UHBMl>~z  
|cL,$G  

图片:1-20021G20100c0.png

6dhzx; A  
hp}JKj@  
制造公差分析 'ji|'x T  
a7jE*%f9  

图片:1-20021G20120954.png

3e)$<e  
)a<MW66  
走进VirtualLab Fusion mnFmShu  
>{>X.I~  

图片:1-20021G20141219.png

ba^/Ar(B  
Zm6|aHx8v  
VirtualLab Fusion中的工作流程 C@u}tH )  
>tm4Rg~y  

图片:1-20021G20205237.png

%$67*pY'JH  
5E =!L g  
•构造光栅结构 -Sa-eWP  
−通过使用界面来配置光栅结构 Y)DF.ca(  
[用例] ,@\z{}~v  
•分析光栅衍射效率 6xx(o  
−光栅级次分析器[用例] f9vitFkb+  
•使用参数运行搜索初始解决方案 e'.CIspN  
−参数运行文档的使用[用例] .TNGiUzG  
•通过参数优化找到最终设计 y:Aha#<
 
W#\{[o  
VirtualLab Fusion技术 s01=C3  
<7`U1DR=  

图片:1-20021G2025W62.png

   oj@=Cq':-