摘要
za'Eom-<u Eu\&}n`i 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
<DiD8")4 /yyed{q |x2>F
*'vX:n&t 建模任务
<O&L2E @~f /s(/6~D| oL#^=vid" 光栅特性与参数的严格分析
4QdY"s(n Yva^JB 不同光栅周期下的衍射效率
XQ--8G 49~5U+x; m;lwMrY\7> W+&ZYN'E 关于光栅周期选择的考虑
p8Di9\} q*TH),)J j/{F#auI Miqu 偏振相关的衍射特性
gAC} >IC.Zt@ 0tm%Kd K_oBSa` bgqN&J)Jr) |dpOE<f[ wt[MzpR P `&b8wF 通过参数优化进行光栅设计
2J^6(vk 41mg:xW(J 固定周期的2D参数优化
~K 8eRT X3#|9 #QQ\xj 2D参数优化–设计1
)?joF) >5#`j+8=q z9U<Z^4z+
pMYEL 2D参数优化–设计2
EE#4,d`J -RVwPY Z$kff-Y4 kdmannM 制造
公差分析–设计2
4Z"DF)+} ^q_0(Vf Aga2 I#1r WmP"u7I4 变化光栅周期的3D参数优化
oU% rP 1Z6<W~,1OM NZ/gp"D? Kjc"K36{L 制造公差分析
wo$9$~( :" g^y6i oh-Y Cy4@\X%W 走进
VirtualLab Fusion
f}0(qN/G 2B3H-` 6E{HNPMb> Uc>kCBCd VirtualLab Fusion中的工作流程
j1*'yvGM }|%dN*', /+.Bc(` HhhN8t •构造光栅
结构 '}e_8FS −
通过使用界面来配置光栅结构 q6f+tdg= [用例]
?<]BLkx •分析光栅衍射效率
(BEGt'7 −
光栅级次分析器[用例]
B/:q
•使用参数运行搜索初始解决方案
H ifKa/}P8 −
参数运行文档的使用[用例]
*r@7 :a5 •通过参数优化找到最终设计
_d76jmujJ msM VirtualLab Fusion技术
Xa=oryDt yhJH3< gPh;