复杂
光栅结构被广泛应用于
光谱仪、近眼显示
系统等领域。VirtualLab Fusion
软件用傅立叶模态法(FMM,或者RCWA)一种简易的
仿真方法来严格分析任意的光栅结构。使用图形用户界面,可以设置堆栈的几何图形,从而生成复杂的光栅结构。 此例程主要用于构建具有二维周期性特征的光栅。
• 光栅工具箱中构建二维光栅的方法 − 基于介质定义的类型 − 基于界面定义的类型
- Fbp!*.
u • 计算之前修改高级选项和检查定义的结构的方法。
H,X|-B • 提示:在VirtualLab软件中的光栅结构中,表现为二维周期性的被称作 三维光栅。同样的,层状光栅(一维周期性)被称作二维光栅。
UlE%\L0GD& ob{'Z]-V 初始化光栅工具箱
D'#Q`H • 初始化
#lLUBJ#: − 开始菜单栏 (Start)
UPfO;Z`hJ 光栅菜单栏(Grating)
vv @m{,7#Y 通用光栅光路图(三维光栅) General Grating Light Path Diagram(3D Gratings)
-o6rY9\_! • 提示:对于特殊类型的光栅,例如柱形光栅,
'Be'!9K*d 可以在光栅工具箱中直接点击柱形光栅光路
n_e'n|T 图(三维光栅)(Pillar Grating Light
+&`W\?.~ Path Diagram(3D Gratings))
&oS$< K}R+~<bIY 设置光栅结构
:;7I_tb lZ\8W^ • 首先,需要定义基底(Base Block)的厚度和介质。
}#O!GG{ • VirtualLab中光栅结构在堆栈(stack) 中定义。
Y$r78h=4 • 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同时添加堆栈(stack)。
xLz=)k['' • 例如,图中在前表面添加了堆栈(stack)。
(hzN(Dh 基于
材料定义光栅的类型(例程: 柱形光栅)
Yv;s3>r
堆栈编辑器
1q;v|F G:=hg6' 在堆栈编辑器(Stack Editor)中,界面和材料可以从中目录(catalog) 中添加。
?0VR2Yb${b • 为了用一种特殊的介质定义光栅,需要添加两个平面界面,作为介质的边界。
LmF ,en5 #dA$k+3 两个平面之间的介质类型可以是均匀介质(homogenous)或者调制介质(modulated)。
vjGQ! xF • 使用调制介质,就可以非常有效地描述复杂光栅结构,如柱形光栅。
柱形光栅介质
~9dpB>+ NXY jb(4: • 在目录类别中LightTrans预设(LightTrans Defined)下柱形介质类(pillar media)中可以添加铬柱(Chromium Pillars)。
8vY-bm,e • 这种介质可以仿真柱形结构或者在基底表面打孔的结构。
A IP~A]T • 此例程中,矩形排布的金属铬圆柱位于熔融石英基底表面。
'jtC#:ePK • 在堆栈编辑器的视图中,不同材料根据
折射率的高低表示为不同深浅的颜色
smQ^(S^ (颜色越深,折射率越高)。
Iry$z^ • 注意:堆栈编辑器固定显示x-z平面的横截面视图。
*glZb;_
18>cfDh;N • 请注意:界面添加的顺序固定由基底表面开始算起。
Pd*[i7zhC • 选中的界面会以红色突出显示。
n{;j • 此外,无法在此处定义光栅前面的介质(指
W_\zx<m 最后一个界面后的介质)。它会自动从光栅部件前面的材料中提取。
_/s"VYFZ • 可以在
光学参数设置编辑器(Optical Setup Editor)中更改这处材料。
/~[Lr
TC\+>LXiZ • 堆栈周期(Stack Period)可以控制整个结构的周期。
bmfM_oz • 对于二维周期性光栅,必须在x和y方向分别定义周期。
t;&XIG~ • 该周期也是FMM算法的周期边界条件。
SiratkP9n7 • 对于简单的光栅结构,建议选择与介质周期一致 (Dependent from the Period of Medium) 选项,并选择合适的周期性介质的序号。
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