复杂
光栅结构被广泛应用于
光谱仪、近眼显示
系统等领域。VirtualLab Fusion
软件用傅立叶模态法(FMM,或者RCWA)一种简易的
仿真方法来严格分析任意的光栅结构。使用图形用户界面,可以设置堆栈的几何图形,从而生成复杂的光栅结构。 此例程主要用于构建具有二维周期性特征的光栅。
• 光栅工具箱中构建二维光栅的方法 − 基于介质定义的类型 − 基于界面定义的类型
FZ'|z8Dm • 计算之前修改高级选项和检查定义的结构的方法。
6AV@O • 提示:在VirtualLab软件中的光栅结构中,表现为二维周期性的被称作 三维光栅。同样的,层状光栅(一维周期性)被称作二维光栅。
b3N>RPsHS zim]3%b*A; 初始化光栅工具箱
S^'?sfq • 初始化
8gwJ%"-K − 开始菜单栏 (Start)
xtMN<4#E 光栅菜单栏(Grating)
h^h,4H\r 通用光栅光路图(三维光栅) General Grating Light Path Diagram(3D Gratings)
flDe*F^ • 提示:对于特殊类型的光栅,例如柱形光栅,
RO"c+|Py 可以在光栅工具箱中直接点击柱形光栅光路
5RCQ<1 图(三维光栅)(Pillar Grating Light
v1%rlP Path Diagram(3D Gratings))
ieXhOA Njsz= 设置光栅结构
ykcW>h rlTCVmE8[ • 首先,需要定义基底(Base Block)的厚度和介质。
~`)`Ip • VirtualLab中光栅结构在堆栈(stack) 中定义。
-jy-KC • 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同时添加堆栈(stack)。
}mQ7N&cC • 例如,图中在前表面添加了堆栈(stack)。
W<C
\g~\ 基于
材料定义光栅的类型(例程: 柱形光栅)
g((glr)6M 堆栈编辑器
m`CcU`s gjB36R 在堆栈编辑器(Stack Editor)中,界面和材料可以从中目录(catalog) 中添加。
\o3)\
e]o • 为了用一种特殊的介质定义光栅,需要添加两个平面界面,作为介质的边界。
3`[f<XaL yx?Z&9z <