复杂
光栅结构被广泛应用于
光谱仪、近眼显示
系统等领域。VirtualLab Fusion
软件用傅立叶模态法(FMM,或者RCWA)一种简易的
仿真方法来严格分析任意的光栅结构。使用图形用户界面,可以设置堆栈的几何图形,从而生成复杂的光栅结构。 此例程主要用于构建具有二维周期性特征的光栅。
• 光栅工具箱中构建二维光栅的方法 − 基于介质定义的类型 − 基于界面定义的类型
Q=#Wk$1. • 计算之前修改高级选项和检查定义的结构的方法。
^2uT!<2 • 提示:在VirtualLab软件中的光栅结构中,表现为二维周期性的被称作 三维光栅。同样的,层状光栅(一维周期性)被称作二维光栅。
x_#'6H\1ga J pKCux 初始化光栅工具箱
zJG=9C? • 初始化
xi=Qxgx0I − 开始菜单栏 (Start)
>RXDuCVi 光栅菜单栏(Grating)
8:jakOeT 通用光栅光路图(三维光栅) General Grating Light Path Diagram(3D Gratings)
Zmy:Etqi • 提示:对于特殊类型的光栅,例如柱形光栅,
7?2<W-n 可以在光栅工具箱中直接点击柱形光栅光路
_OJ19 Ry 图(三维光栅)(Pillar Grating Light
HQV#8G#B Path Diagram(3D Gratings))
Yn8aTg[J |4F'Zu}g> 设置光栅结构
%^bN^Sq
- >{#QS"J# • 首先,需要定义基底(Base Block)的厚度和介质。
}Pj;9ivz • VirtualLab中光栅结构在堆栈(stack) 中定义。
"^5 %g% • 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同时添加堆栈(stack)。
]gmkajCzD • 例如,图中在前表面添加了堆栈(stack)。
C^ Oy.s 基于
材料定义光栅的类型(例程: 柱形光栅)
=7-@&S=?s 堆栈编辑器
YT)@&HaF lNB<_SO 在堆栈编辑器(Stack Editor)中,界面和材料可以从中目录(catalog) 中添加。
H`NT`BE • 为了用一种特殊的介质定义光栅,需要添加两个平面界面,作为介质的边界。
m]/sR3yF MO_;8v~0 两个平面之间的介质类型可以是均匀介质(homogenous)或者调制介质(modulated)。
nH|7XY9" • 使用调制介质,就可以非常有效地描述复杂光栅结构,如柱形光栅。
柱形光栅介质
2E0$R%\ YfVZ59l4y6 • 在目录类别中LightTrans预设(LightTrans Defined)下柱形介质类(pillar media)中可以添加铬柱(Chromium Pillars)。
2~QN#u|UC3 • 这种介质可以仿真柱形结构或者在基底表面打孔的结构。
,5P
tB]8&3 • 此例程中,矩形排布的金属铬圆柱位于熔融石英基底表面。
pSS8 %r%S' • 在堆栈编辑器的视图中,不同材料根据
折射率的高低表示为不同深浅的颜色
b!z kQ?h (颜色越深,折射率越高)。
BS+=*3J • 注意:堆栈编辑器固定显示x-z平面的横截面视图。
rY]QTS">o o7v,:e: • 请注意:界面添加的顺序固定由基底表面开始算起。
>npFg@A • 选中的界面会以红色突出显示。
h3P ^W(=& • 此外,无法在此处定义光栅前面的介质(指
O
718s\# 最后一个界面后的介质)。它会自动从光栅部件前面的材料中提取。
fnn/akGKI • 可以在
光学参数设置编辑器(Optical Setup Editor)中更改这处材料。
FuFA/R=x/ KNqs=:i • 堆栈周期(Stack Period)可以控制整个结构的周期。
] F2{:RW • 对于二维周期性光栅,必须在x和y方向分别定义周期。
X5c)T}pyv • 该周期也是FMM算法的周期边界条件。
yn.f?[G2 • 对于简单的光栅结构,建议选择与介质周期一致 (Dependent from the Period of Medium) 选项,并选择合适的周期性介质的序号。
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