摘要
qfU3Cwy VUb*,/hxa 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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7@?b _ 8Yh2K} 设计任务
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xo$ZPnf(zv ?H&p zY~H F`u~Jx8.* 光栅特性与参数的严格分析
U?QO'H5 :y)'qv[ 不同光栅周期的衍射效率
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5z_) F@BNSs N= 考虑光栅周期的选择
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UL/>t}AG 偏振相关衍射特性
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_$0Ix6y, Y"@k vd 偏振相关衍射特性
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B.?yHaMI[ 5IMH G%W7 偏振相关衍射特性
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kBzzi^cl i,'~Ds 基于参数优化的光栅设计
1 .M?Hp9i v09f#t$;5 具有固定周期的二维参数优化
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luMNi^FQ 二维参数优化 - 设计#1
/y 0 )r.R OH~t\fQ1Zf
AOe~VW <da! #12L 二维参数优化 - 设计#2
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?vVkZsU J: LSGj;R 制造
公差分析 - 设计#2
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J.<m@\U Z9U*SS5s, 不同光栅周期的
三维参数优化
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