摘要
Jc%>=`f ?<LG(WY 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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,N MK[spV \qTn"1bQ 设计任务
X"1<G3m4 Iw<c 9w8 <m6I)}K <?J7Z| G#*!)#M < 光栅特性与参数的严格分析
ntkinbbD ``E;!r="v 不同光栅周期的衍射效率
YJ6vyG>%C p.}[!!m P ,/ig8~u'c ;_SS3q 考虑光栅周期的选择
&S-& 'ZAY QNtr = UQdQtj1' 偏振相关衍射特性
JZnWzqFw %5KR}NXX6 ( gFA? aD< Z{CL! 偏振相关衍射特性
=Fs LF uHIWbF<0oo {pg@JA jbGH3 L 偏振相关衍射特性
g`6wj|@ =W 7w$R-Y/E c]n03o &B85; 基于参数优化的光栅设计
C/vLEpP{(/ U+RPn?Q 具有固定周期的二维参数优化
'_<`dzz U`Ag|R 2~U+PyeNz 二维参数优化 - 设计#1
Sp )} X]*/]Xx Ww@;9US 3 o'4@]ae 二维参数优化 - 设计#2
d&u/7rm M0e|G.S&_ &}$D[ 4N [-gKkOT8E 制造
公差分析 - 设计#2
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. R}y"O\ 不同光栅周期的
三维参数优化
.%<&W1 9"RfL7{ A(p 1c"m$)a4 制造公差分析
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