摘要
Kk|uN#m + >?"P^ 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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FYU)sQ 6'+;5 M! 设计任务
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R+Q..9P AdV&w: ^yf 4,kdP)Md$ 光栅特性与参数的严格分析
AB92R/ M-Gl".*f 不同光栅周期的衍射效率
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i$Q 考虑光栅周期的选择
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^]_[dqd 偏振相关衍射特性
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.;#Wf@V BVAxeXO 偏振相关衍射特性
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tB-0wD=PR 701ei; 偏振相关衍射特性
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?Ybgzb GZ xG!r- 基于参数优化的光栅设计
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具有固定周期的二维参数优化
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|^: A,%> 二维参数优化 - 设计#1
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Ll4/P[7:? (t$jb|Oa 二维参数优化 - 设计#2
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公差分析 - 设计#2
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,mkXUW 6k569c{7 不同光栅周期的
三维参数优化
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Pr&O9 # !:u*1 制造公差分析
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