摘要
rnXoA, c/ 29f4[V X 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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!GtCOr\' =_`cY^ib+ 建模任务
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;%O>=m'4 Lg+cHaA 1阶的
参数优化
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]?~[!&h zO3}c3D~q 结果-容差分析
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H2E'i\ &(~"OD 结果-容差分析
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4_o+gG%HaM wK Je^7 在
VirtualLab Fusion中查看
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P^'}3*8S =v~$&@ VirtualLab Fusion的工作流程
x$6FvgP( DO
,7vMO •构造光栅结构
N~9zQ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
]}nX$xy - 倾斜光栅的高级配置[用例]
fnudy%oo •分析光栅衍射效率
n$ZxN"q < - 光栅级次分析器[用例]
-d6PXf5 •使用参数优化优化光栅参数
[};?;YN •使用参数运行进行容差分析
;`FR1KIg - 参数运行文档的用法[用例]
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\D}$foHg Is}?:ET VirtualLab Fusion技术
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