摘要
YYiT,Xp<A 50Kv4a" 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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wwI'n*Q'$ c~=y D:$ 建模任务
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5&X 1阶的
参数优化
R{hq1- U}]uPvu 
Om/mpU /U 6d% |yl 结果-容差分析
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Jjgy;*hM 9"TPAywd 结果-容差分析
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]*Tnu98G} aRh1Q=^@(4 在
VirtualLab Fusion中查看
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JL7"}^ 5{@H pj/B VirtualLab Fusion的工作流程
IUJRP sJHN4 •构造光栅结构
' +Gy)@c - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
NxyrP**j - 倾斜光栅的高级配置[用例]
UJX=lh.o •分析光栅衍射效率
]F]!> dKA - 光栅级次分析器[用例]
w=txSF&Qr •使用参数优化优化光栅参数
R
Wd#)3 •使用参数运行进行容差分析
)&$Zt( - 参数运行文档的用法[用例]
tHj |_t &d8z`amP 
.vbUv3NI 7rdPA9 VirtualLab Fusion技术
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