[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 k;)t}7(  
(fSpY\JPI  
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 VB(S]N)F^  
y9/x:n&]  

图片:1-1ZR3110153312.png

g`N
J `  
/b ]Yya#  
建模任务 -chk\75  
#.Q8q  

图片:1-1ZR31102241U.png

@d/Wa=K  
Ug
2^cgL  
1阶的参数优化 -c_}^j  
\DDRl{  

图片:1-1ZR3110300146.png

sTmY'5ry  
0vi)my;!  
结果-容差分析
:4HZ>!i  
zJxO\  

图片:1-1ZR311033c64.png

liU/O:Ap  
.UdoB`@!v=  
结果-容差分析 7BNu.5*y  
Pr>Pxsr&  

图片:1-1ZR3110400923.png

pz uR H1[  
q8Z,XfF^S  
在VirtualLab Fusion中查看 czp
.q  
62YT)/i3  

图片:1-1ZR31104205S.png

Hea76P5$P+  
h3udS{9'8  
VirtualLab Fusion的工作流程 px7<;(I  
mW+QJ`3  
•构造光栅结构 ~WKcO&  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] &a/F"?9jL  
- 倾斜光栅的高级配置[用例]  ~[wh  
•分析光栅衍射效率 =o<iBbK#|  
- 光栅级次分析器[用例] BS(XEmJn&j  
•使用参数优化优化光栅参数 li`4&<WG
C  
•使用参数运行进行容差分析 KeIk9T13O  
- 参数运行文档的用法[用例] |o5F%1o  
q%rfKHMA50  

图片:1-1ZR3110443116.png

8`$lsD  
m0$
4  
VirtualLab Fusion技术 N.l
\2S}  
kN'.e*  

图片:1-1ZR3110554J9.png