[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 P~redX=t@  
E:xpma1Qf  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 `GC7o DL  
)52:@=h*l  
OJ8W'"`L&  
<%hSBDG!x  
设计任务 f<9H#S:  
Y oNg
3  
GBu&2}  
|!8[Vg^Wh  
1级参数优化 d?WA}VFU  
c.m '%4  
] M"{=z  
jIK*psaV  
结果-容差分析 6hXL`A&},  
1lfkb1BM  
af\>+7x93  
X/lLM`  
结果-容差分析 ?(Dkh${@  
\E9Z
H3;  
D^=_408\  
\MsAdYR  
VirtualLab Fusion一瞥 )b"H]"  
zBay 3a  
\:8~na+(  
uTA /E9OY  
VirtualLab Fusion中的工作流程 yJWgz`/L  
*r
SMD_>  
构建光栅结构 uT8/xNB!  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] $6XSW  
−倾斜光栅高级设定[用例] &BqRyUM$F  
•光栅衍射效率分析 M A}=  
−光栅阶序分析器[用例] L-^vlP)Vu  
•使用参数优化进行光栅参数优化 m;WUp{'  
•使用参数运行的容差分析 iN0pYqY*  
apF!@O^}y  
C 6Bh[:V&  
;i^p6b j  
VirtualLab Fusion技术 "u Xl  
WSn^P~vC