摘要
'kvFU_) 0s""%MhFI 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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1cBhcYv" tC:,!4 P$ 设计任务
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q{/Jw"e s@LNQ|'kO 1级
参数优化
YB~t|m65 %*c|[7Z~V
y32++b! >Ryss@o 结果-容差分析
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psX%.95Y |QOJ9~hxD 结果-容差分析
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7b,,%rUd Au} ;z6k VirtualLab Fusion一瞥
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^Lmc%y w<e;rKr VirtualLab Fusion中的工作流程
J.mewD!%z Z3So|M{v 构建光栅结构
AY'?Xt −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
-^4bA<dCCE −倾斜光栅高级设定[用例]
O+p-1 C$\ •光栅衍射效率分析
eSX[J6 −光栅阶序分析器[用例]
MJKl]& •使用参数优化进行光栅参数优化
E<CxKY9 •使用参数运行的容差分析
xGEmrE<; ,r 2VP\hLh
~8xh0TSi #} ~p^ 0 VirtualLab Fusion技术
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