摘要
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79^ 8.vD]hO 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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)!0>2,R1 Z*k}I{0,- 设计任务
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gG#M-2P ec{pWzAe 1级
参数优化
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x]F:~(P #zfBNkk &@ 结果-容差分析
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Z5v\[i@H! sVGyHA VirtualLab Fusion一瞥
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"zv?qS M-eX>}CDm VirtualLab Fusion中的工作流程
&)1+WrU W<\KRF$S; 构建光栅结构
F6yMk% −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
\\6/" −倾斜光栅高级设定[用例]
gd2cwnP •光栅衍射效率分析
|'.\}xt7 −光栅阶序分析器[用例]
G/b
$cO} •使用参数优化进行光栅参数优化
} DoNp[` •使用参数运行的容差分析
m$ "B=b2 1a`dB
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l7\Bq+Q usU5q>1 VirtualLab Fusion技术
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