[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 OzD\*,{7  
^_g%c&H  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 u$C\#y7  
B@NBN&Fr  

图片:1-19110G51512293.png

M_Q`9  
Maq`Or|4  
设计任务 6i~|<vcSP  
:r ~iFP*  

图片:1-19110G51541c6.png

Bpm COA  
2G$px  
1级参数优化 {?Y\T  
3)ox8,{%}  

图片:1-19110G516302b.png

?jUgDwc(w  
4v |i\V>M  
结果-容差分析 J]XLWAM  
)[J!{$&y  

图片:1-19110G51HWc.png

}e/vKWfT  
,zr9
*t  
结果-容差分析 (]T[n={Y  
 6?*Do  

图片:1-19110G51K2c1.png

wdfbl_`T  

Q~qM;l\i  
VirtualLab Fusion一瞥 /;d 5p  
|9\i+)C  

图片:1-19110G51Q9D8.png

UPr& `kaJ  
O8b#'f~  
VirtualLab Fusion中的工作流程 #b;k+<n[X  
5,s@K>9l;  
构建光栅结构 ymqv@Byi8A  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] #::+# G  
−倾斜光栅高级设定[用例] 0)g]pG8&ro  
•光栅衍射效率分析 V^R,j1*  
−光栅阶序分析器[用例] X/cb1#  
•使用参数优化进行光栅参数优化 WZn;u3,R  
•使用参数运行的容差分析 cZ|NGkZ  
w(aj'i  

图片:1-19110G51933119.png

?%$O7_ThvA  
uA[ :  
VirtualLab Fusion技术 +D
XP&Q  
@ Do.Wgt  

图片:1-19110G52045463.png