摘要
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g98 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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<o_H]c-> ^L;`F 设计任务
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Pv`^#BX' wK[xLf 1级
参数优化
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C`D5``4 J0}OmNTzD 结果-容差分析
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AG#5_0]P~ 7:1c5F~M 结果-容差分析
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C,w$)x5kls 33\{S$p VirtualLab Fusion一瞥
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a`CsL Bv& ()vxTTa VirtualLab Fusion中的工作流程
6ZVJ2xs[% +gTnq")wnI 构建光栅结构
aF$HF;-y −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
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ZvtcCa −倾斜光栅高级设定[用例]
er}/~@JJ •光栅衍射效率分析
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/hjm"$ −光栅阶序分析器[用例]
zQ}:_ •使用参数优化进行光栅参数优化
+"a .,-f! •使用参数运行的容差分析
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ocy fU=}X kzGD* VirtualLab Fusion技术
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