[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 rWi
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 uoaF(F-  
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设计任务 C[?
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1级参数优化 2%1g%  
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结果-容差分析 6i%LM`8GEk  
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结果-容差分析 ]Fl+^aLS  
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VirtualLab Fusion一瞥  U7tT  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 ~}z p}Pt  
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构建光栅结构 u%VO'}Gz  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] RZm5[n  
−倾斜光栅高级设定[用例] :[|`&_D9J  
•光栅衍射效率分析 .'5yFBS  
−光栅阶序分析器[用例] o9q%=/@,  
•使用参数优化进行光栅参数优化 Wq F(  
•使用参数运行的容差分析 ;&;coH8`  
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VirtualLab Fusion技术 .I {X  
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