摘要
_.' j'j% /j0<x^m/ 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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qmdl:J|? jJQ6]ucwa 设计任务
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7
}4T)k(a :2^%^3+V 1级
参数优化
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|qH -^b.F 0vbn!<: 结果-容差分析
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}y(1mzb SpdQ<] 结果-容差分析
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Vk5}d[[l T\:Vu{| VirtualLab Fusion一瞥
.2q7X{4= WogJ~N,d53
w,SOvbAxX2 q{ItTvL VirtualLab Fusion中的工作流程
+7U$qEG :;cKns0OA 构建光栅结构
"EQ`Q=8 −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
p[4KN(PyK −倾斜光栅高级设定[用例]
!X$e;V"HX •光栅衍射效率分析
/csj(8^w −光栅阶序分析器[用例]
]OL
O~2j •使用参数优化进行光栅参数优化
Rb
Jl; •使用参数运行的容差分析
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;+'x_'a gtHWd;1&f VirtualLab Fusion技术
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