摘要
[C{oj*"c] |J$ B j? 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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xM=?ES ,0f^>3&n>e 设计任务
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l'7' G$v r6vI6|1 1级
参数优化
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F0tcVdv M)3'\x : 结果-容差分析
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Yf_/c*t\5 ,*8)aZ1 k 结果-容差分析
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rO VirtualLab Fusion一瞥
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'EC0|IT)c L@.Trso VirtualLab Fusion中的工作流程
gfiFRwC`v `NfwW: 构建光栅结构
f.0HIc −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
<Ok7 -:OxA −倾斜光栅高级设定[用例]
0{/'[o7 •光栅衍射效率分析
q"Sja!-;| −光栅阶序分析器[用例]
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W$.>*O •使用参数优化进行光栅参数优化
Z%JAX>v&B •使用参数运行的容差分析
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q8MyEoc:n Zt}b}Bz VirtualLab Fusion技术
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