摘要
/@VsqD "tqnx?pM 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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$=/rGpAk jz*0`9&_ 设计任务
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9I85EcT^4" Us'Cs+5XcG 1级
参数优化
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`%e|$pK gNqAj# m 结果-容差分析
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结果-容差分析
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.46#`4av /hL\,x2 VirtualLab Fusion一瞥
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q]CeD VirtualLab Fusion中的工作流程
+~N!9eMc uQnT[\k? 构建光栅结构
C0QM#"[ −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
HmMO*k<6@ −倾斜光栅高级设定[用例]
xYPxg! •光栅衍射效率分析
@o6R[5( −光栅阶序分析器[用例]
AotCX7T2T •使用参数优化进行光栅参数优化
!scD|ti •使用参数运行的容差分析
#AShbl jm+ V C-d0E0
?E6^!4=, YlTaN,?j VirtualLab Fusion技术
[KSH~:h:NR Tg0CE60"