[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 \j.l1O  
eqOT@~H  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 f\RTO63|O  
d mTZEO  

图片:1-19110G51512293.png

.Tw:Y,G  
p7izy$Wc  
设计任务 /#t::b+>x  
#tw_`yh  

图片:1-19110G51541c6.png

at\u7>;.^k  
>-3>Rjo>  
1级参数优化 hc9ON&L\>  
qf@P9M  

图片:1-19110G516302b.png

UbIUc}ge  
)3f\H  
结果-容差分析  VS7  
ru1^.(W2  

图片:1-19110G51HWc.png

![I|hB  
*.1#+h/]3  
结果-容差分析 el2<W=^M  
'9Q#%
E!*  

图片:1-19110G51K2c1.png

#2Vq"Zn  
2r+nr  
VirtualLab Fusion一瞥 3'0Jn6(  
X68.*VHh0  

图片:1-19110G51Q9D8.png

F$:UvW@e1  
@W==)S%O  
VirtualLab Fusion中的工作流程 (WY9EJ<s,  
'w<^4/L Q  
构建光栅结构 kaIns  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] t0/Ol'kgs  
−倾斜光栅高级设定[用例] 'V <ZmJ2  
•光栅衍射效率分析 }!|$;3t+c  
−光栅阶序分析器[用例] :v$)Z~  
•使用参数优化进行光栅参数优化 */@I$*  
•使用参数运行的容差分析 Y;E'gP-J  
'*
@
=SM  

图片:1-19110G51933119.png

<pD  
\F+".X#jh  
VirtualLab Fusion技术 X(8LhsP  
,K30.E  

图片:1-19110G52045463.png