摘要
\j.l1O eqOT@~H 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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.Tw:Y,G p7izy$Wc 设计任务
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at\u7>;.^k >-3>Rjo> 1级
参数优化
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qf@P9M
UbIUc}ge ) 3f\H 结果-容差分析
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![I|hB *.1#+h/]3 结果-容差分析
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#2Vq"Zn 2r+nr VirtualLab Fusion一瞥
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F$:UvW@e1 @W==)S%O VirtualLab Fusion中的工作流程
(WY9EJ<s, 'w<^4/L Q 构建光栅结构
kaIns −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
t0/Ol'kgs −倾斜光栅高级设定[用例]
'V <ZmJ2 •光栅衍射效率分析
}!|$;3t+c −光栅阶序分析器[用例]
:v$)Z~ •使用参数优化进行光栅参数优化
*/@I$* •使用参数运行的容差分析
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<pD \F+".X#jh VirtualLab Fusion技术
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