摘要
Q5E:|)G 3-Y=EH_0 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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R40W'N 1%q F +j O*F2h 设计任务
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\ s f! 1级
参数优化
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cS~!8`Fwy f4]&p cK 结果-容差分析
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{a4xF2 ZDlu1> Q 结果-容差分析
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x VirtualLab Fusion一瞥
' jbMTI 4 ?2g&B\ 
Gm@iV,F%R &|,s{?z2 VirtualLab Fusion中的工作流程
OPJgIU% e 2*F;.) 构建光栅结构
~|=rwDBZ8l −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
8 on[%Vk −倾斜光栅高级设定[用例]
lQr6; D}+ •光栅衍射效率分析
b3^R,6]x& −光栅阶序分析器[用例]
x(yX0 ,P/7 •使用参数优化进行光栅参数优化
c9|a$^I6 •使用参数运行的容差分析
+G\0L_B le2/Zs$ 
`wV|q~ I3ho(Kdi VirtualLab Fusion技术
6BPAux.] )6C`&Mj 
