摘要
zJ l_ t0 zB)%lb 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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a5 设计任务
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PdE>@0X?M rK=6]j(K 1级
参数优化
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$Z6 D:"K i\x~iP&F$ 结果-容差分析
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zO.6WJ eE3-t/= 结果-容差分析
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Y VirtualLab Fusion一瞥
P;GprJ`l V5s& hZZYa 
'p)QyL`d ~ x`7)3 VirtualLab Fusion中的工作流程
iZ Ta>@ l>Av5g)
构建光栅结构
mxL;;- −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
FAtWsk*pgY −倾斜光栅高级设定[用例]
jgRCs.6 •光栅衍射效率分析
2Ow<`[7 −光栅阶序分析器[用例]
`ue?Z%p| •使用参数优化进行光栅参数优化
F6&P ~H •使用参数运行的容差分析
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,"H?hFQ ^x3EotQ\ VirtualLab Fusion技术
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