摘要
-"JmQ Fha 2p](`Y` 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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hN!;Tny b)KEB9w 设计任务
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FsWp>}o r[}nr H&8 1级
参数优化
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U,FUS
a<\n$E#q _xePh 结果-容差分析
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Q%d%Io\-t "Ux(nt VirtualLab Fusion一瞥
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mJ<`/p?: Ly8=SIZ VirtualLab Fusion中的工作流程
}M% 3 hDB(y4/ 构建光栅结构
5Z; 5?\g −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
LJPJENtFIs −倾斜光栅高级设定[用例]
Fy<:iv0>t •光栅衍射效率分析
NN'pBUR −光栅阶序分析器[用例]
CqC
)H7A •使用参数优化进行光栅参数优化
[HWVS •使用参数运行的容差分析
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Rh~b," ~8nR3ki VirtualLab Fusion技术
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