[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 [
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 CnB[ImMs(A  
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VirtualLab Fusion一瞥 )<V!lsUx'-  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 p"hO6b%V  
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构建光栅结构 s@{82}f~  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] F)cCaE;  
−倾斜光栅高级设定[用例] nCi ]6;Y  
•光栅衍射效率分析 4N,[Gs<7  
−光栅阶序分析器[用例] |/K|Vwa  
•使用参数优化进行光栅参数优化 o>M^&)Xs  
•使用参数运行的容差分析 W~mo*EJ'^  
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VirtualLab Fusion技术 3yRvs;nWS  
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