摘要
}5\F <b^@Y (]1n ! 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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tRFj<yuaq }O-|b#Q 设计任务
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O$+ 0 . 82{Lx7pI 1级
参数优化
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!ffdeWHR 7E 6gXf. 结果-容差分析
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"k[-eFz/@M &]iiBp #2 结果-容差分析
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VirtualLab Fusion一瞥
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V4PI~"4q#1 gMS-mkZ VirtualLab Fusion中的工作流程
]3nka$wA* @9Rg g9r 构建光栅结构
x Eb+sE6Z −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
` 83s97Sa −倾斜光栅高级设定[用例]
yPs4S?<s •光栅衍射效率分析
5[suwaJQ −光栅阶序分析器[用例]
F%M4i`Vh •使用参数优化进行光栅参数优化
2iO AUo+ •使用参数运行的容差分析
FxeDjAP
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noJ5h | O eLM*Zi VirtualLab Fusion技术
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