摘要
ts(u7CJd vO$cF* 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
`-CN\ K_ymA,&() 
^HR8.9^[1u b{-"GqMO 设计任务
(
./MFf -1B. A 
Q jXJo$I6 :4 )x 1级
参数优化
&QD)1b[U Eo ^m; p5 
3rFku"z T$ @=A Qr4& 结果-容差分析
LKI\(%ba# n6,YA2yZO 
^Os }sJ*5S *7Y#G 8 s 结果-容差分析
(y?F8]TfM 6&'kN 2 
3O4lG e#u ZZ {c VirtualLab Fusion一瞥
VH qoa>U,* Z2g<"M 
12L `Gi [G|(E VirtualLab Fusion中的工作流程
3B%7SX h4K Mhr 构建光栅结构
JAjiG^] −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
EUI*:JU- −倾斜光栅高级设定[用例]
aB (pdW4 •光栅衍射效率分析
2`;XcY4A −光栅阶序分析器[用例]
8 Uh|V& •使用参数优化进行光栅参数优化
5tkKd4VfL •使用参数运行的容差分析
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cT_Q E=,b;S - 
) YwEl72c Bca$%3M VirtualLab Fusion技术
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