摘要
ME46V6[LX] vHry&#Pl+ 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。
VVa c: mr*JJF0Z 
hT`J1nNt v+46 QK|I& 建模任务
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[ >8}J " 概述
Ve}(s?hU5 gQWa24 •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
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_U+K •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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2Rw&C6("w BTGv N % 光线追迹仿真
de.&`lPRf WA)yfo0A •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
m0ER@BXRn •单击go！
($au:'kU
•获得了3D光线追迹结果。
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\?[ v{WP) -]/I73! b 光线追迹仿真
BLfTsNzmt gd%NkxmW •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。
?pr9f5 •单击go！
ehzM) uK •结果得到点图（二维光线追迹结果）。
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I4/8 _)b^ 27
]':A4_ 场追迹仿真
[ey:e6,T9 1"zDin!A •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
)97SnCkal •单击go！
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Sg&UagBj " +kL )] 场追迹仿真（相机探测器）
2D75:@JL}| B~ ]k#Ot) •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
-G}[AkmS •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。
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PmkR3<=leg M2PAy! J 场追迹仿真（电磁场探测器）
q*U*Fu+ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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