[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 Hp|kQJ[LE  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 0mYXv4 <  
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建模任务 y1jCg%'H  
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概述 ,i^9 |Oeq  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 W]$w@.oW[  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 k>Is:P  
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图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真 Pa>AWOG'  
@o].He@L<j  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 |"q5sym8Y_  
•单击go！ k&M;,e3v6  
•获得了3D光线追迹结果。 }?$F}s-  
Q^P}\wb>  

图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 v4!VrI  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 C!O0xhs  
•单击go！ z#9aP&8Q  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 (q/e1L-S  
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F@D`N0Pte  
场追迹仿真 +zqn<<9  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 V5@:#BIs  
•单击go！ ZuzEg*lb  
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场追迹仿真（相机探测器） l K{hVqpt  
etDk35!h~,  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 kM l+yli3c  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Df-DRi  
b}$+H/V
 

图片:1-1911251A41O04.png

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5:[0z5Hww  
场追迹仿真（电磁场探测器） 3Y4?CM&0v  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 =`oCLsz=  
dw>C@c#"  

图片:1-1911251A519A0.png

@}u*|P*  
D(op)]8  
场追迹仿真（电磁场探测器） x3=A:}t8  
Ys9[5@7  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 <Xhm`rH  
FBX'.\@`  

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