[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 <GaT|Hhc=  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 j;iL&eo>  
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建模任务 >)^NJ2Fd  
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概述 nLJBq)i  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 :tLbFW[  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 X`1p'JD  
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M"(6&M=?  
光线追迹仿真 o?wt$j-  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 5 `=KyHi:b  
•单击go！ EkZjO Ci  
•获得了3D光线追迹结果。 fhRjYYGI  
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光线追迹仿真 V#J"c8n  
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W("G-Nm  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 XG&K32_fs  
•单击go！ }g{_AiP rv  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 1lcnRHO  
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场追迹仿真 cPuHLwwYf  
y|sma;D  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 C:GvP>  
•单击go！ 85z;Zt
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场追迹仿真（相机探测器） _7@z_i_c  
>nry0 ;z0,  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ]XUSqai  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 2xTT)9Tq*  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） @~o`#$*|  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 U3F3((EYJ  
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图片:1-1911251A519A0.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） 7Fl-(Nv`  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 =.b Y#4  
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