[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 [;bLlS,  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 c@
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建模任务 :A[/;|&  
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概述 4+0Zj+ q";  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 H+Wd#7l,  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 a &j?"o  
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光线追迹仿真 <f%9w]  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ),_bDI L+  
•单击go！ Vl%
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•获得了3D光线追迹结果。 C%&7,F7  
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光线追迹仿真 /\.kH62  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 |cacMgly  
•单击go！ 7g$t$cZby,  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 u'C4d6\wS  
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场追迹仿真 h(fh |R<  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 `u-}E9{  
•单击go！ sr\MQ?\fB  
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场追迹仿真（相机探测器） ;4 &~i
 
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 T'XRl@  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 _MR2,mC  
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场追迹仿真（电磁场探测器） C'Ymz`iQ  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 srCjq  
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场追迹仿真（电磁场探测器） myYe~f4=HQ  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 o)$sZ{` ="  
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