[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 Tg\wBhJr|  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 !;h`J:dN  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 GBo'=  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 ]iE)8X  
p~NFiZ,  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 c&;Xjy  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ^b@&O-&s  
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图片:1-1911251A211D3.png

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Os"T,`F2s  
光线追迹仿真 E (bx/f  
a?P$8NLr  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 QDpzIjJj  
•单击go！ ePxwN?  
•获得了3D光线追迹结果。 jz"-E  
V.^Z)iNf^  

图片:1-1911251A23G14.png

X>kW)c4{b  
*>8Y/3Y\B  
光线追迹仿真 a0=>@?  
Xw_6SR9C  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 )h,
-zAnZ  
•单击go！ F uJ=]T  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 unN=yeut  
+#MQ8d  

图片:1-1911251A311b4.png

wS}Rl}#Oh?  
6 ~d\+aV  
场追迹仿真 Zq\Vq:MX  
]#t5e>o|  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ST7Xgma-  
•单击go！ KmE<+/x~?  
[y(AdZ0*  

图片:1-1911251A335531.png

%y_AT2A  
+3%i7  
场追迹仿真（相机探测器） $ Ov#^wfA  
->Bx>Y  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ruK,Z,3Q  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 VaLl$w  
3P[u>xE  

图片:1-1911251A41O04.png

7$jO3J  
i8H!4l  
场追迹仿真（电磁场探测器） z1`z k0  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 F,>-+~L=  
]n$&|@  

图片:1-1911251A519A0.png

k}$k6Sr"  
8jz[;.jP",  
场追迹仿真（电磁场探测器） ! tPHT  
tFKR~?Gc
 
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 #uHl
 
c`x[C  

图片:1-1911251A5594c.png