1.摘要
sw&Qks?V yD KX, 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
C"sa.#} L \$zr,=C L*_xu _F g N[r*:B 2. 建模任务
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N/ 97g\nq< 5Ql6?UHD ]mc,FlhU@ 3. 干涉条纹的变化
P$Dr6; oH;Y} h VKlD"UTk T:-Uy&pBEN 4. 走进VirtualLab Fusion
VS`S@+p vH=I#Ajar
zh6so. #: F)A_Y 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
`XD$1> 2|cIu ' U QhZ%<zN <Z5prunov 6. VirtualLab Fusion 技术
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