1.摘要
5; C| :x3QRF 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
Fk7?xc 39c2pV[ '(6z.
toQ XE RUo 2. 建模任务
3F"lXguS + SzU kb%;=t2 BX/8O<s0 3. 干涉条纹的变化
+:2klJ 4X/-4' W<{h,j8 O *C;Vqt 4. 走进VirtualLab Fusion
y`iBFC;_ $V;i
'(&7 ,O5NLg- I@\lN&HC 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
+ /G2fhE AD>e?u +bxYGD 3ZuZ/= 6. VirtualLab Fusion 技术
5PCqYN(:B bG"~"ipn%