1.摘要 ]&+,`1_q
<e)u8+(
白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 9S<g2v
6Z,GD
nNj<!}HvV
P80mK-Iyv_
2. 建模任务 lE|Hp
g._`"c
i`st'\I
=pa
F6!AB
3. 干涉条纹的变化 V =9
e]5
n4"]D)
QP?eKW9 :
caH!(V}6
4. 走进VirtualLab Fusion 6O@/Y;5i
M?[~_0_J
?mq<#/qb
ZkA05wPZ#
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 BK*Bw,KQ<
<&