1.摘要
Z@bGLS om}jQJ]KH 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
>@c~ M 3WQ"3^G %e'Z.vm rE&+fSBD 2. 建模任务
?^H1X-; [W2GLd] AV*eGzz` ^NPbD<~Lb 3. 干涉条纹的变化
7O.{g _F9O4Q4 "[BDa}Il Ar VNynQ 4. 走进VirtualLab Fusion
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. h1 (MvEt ~^R?H S 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
CiSl0 v5N2$Sqp* "~HV!(dRMC 8x9$6HO 6. VirtualLab Fusion 技术
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