[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

1.摘要 ':9%3Wq]j  
A632 :V  
白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 qFB9,cUqh  
yN%3w0v  

图片:1-191204120226228.png

Q5T(;u6  
Z:W')Nd(  
2. 建模任务 })h'""i&xn  
bf&.rJ0  

图片:1-19120412030c28.png

e-YGuWGN7  
}?\#_BCjx(  
3. 干涉条纹的变化 9J't[( u|u  
ZP]2/;h  

图片:1-191204120352336.png

vY8WqG]  
s:qxAUi\/  
4. 走进VirtualLab Fusion '` BjRg57]  
e)fJd*P  

图片:1-1912041204141I.png

w-{#6/<kI5  
9u-M! $  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 D~[N_  
eHfG;NsV/  

• 输入场设置

• 基本光源模型[视频教程]

• 定义元件的位置和方向

• 光路图II：位置和方向[视频教程]

• 正确设置非序列追迹通道

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]

• 使用“参数运行”检查影响/变化

• “参数运行文件”的使用[使用案例]

图片:1-191204120454308.png

BVwRP
t  
Fj4l %=  
6. VirtualLab Fusion 技术 nA{ncTg1\  
IeqWR4Y  

图片:1-19120412051Q53.png