1.摘要
[M<{P5q mj,qQ=n;p 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
1O- E], sMN>wbHwh[ $ #t|(\ /W? z0tk` 2. 建模任务
S--/<a2 A@\qoS[ \/X{n*Hw? Y)5)s0} 3. 干涉条纹的变化
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1q HUD7{6}4 4. 走进VirtualLab Fusion
3[,wMy" S]5VEn;pV T^+1rG oMz/sL'u 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
X9 z:D> )Xq@v']%~9 QR|XV%$ Gmqs`{tc 6. VirtualLab Fusion 技术
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