1.摘要
<XLae'R /8l-@P.o 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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ED` 1)1< =8]`-( 2. 建模任务
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z*},N$2= IWv(GQx 3. 干涉条纹的变化
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m*y&z'e\ x1 |/ 4. 走进VirtualLab Fusion
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h.Qk{v }b2YX+/e$f 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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9nAP%MA` J1w[gf]J 6. VirtualLab Fusion 技术
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