[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 lw4#C`bx  
;:
Kc{B.s  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 VrFI5_M/  
EkN>5).  

图片:1-191209152110491.png

E 6!V0D  
b1ZHfe:  
建模任务 <)
@^TRS  
zH@+\#M  
]d&;QZ#w  
仿真干涉条纹 ZPY84)A_}  
,z0E2  
9AQ2FD  
走进VirtualLab Fusion 6M8(KN^  
c;R.rV<  

图片:1-191209152K5539.png

^}GR!990  
6AmFl<  
VirtualLab Fusion中的工作流程 .:, 9Tf  
P~"""3de4  
•设置输入场 lx~mn~;x  
−基本光源模型[教程视频] Q $>SYvW  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 <^8OYnp  
•定义元件的位置和方向 An !i  
− LPD II：位置和方向[教程视频] /B  
•正确设置通道以进行非序列追迹 It^_?oiK  
−非序列追迹的通道设置[用例] j;*= ^s  
•使用参数运行检查影响/变化 V0:db  
−参数运行文档的使用[用例] ?T
_hK  
%M05& <  

图片:1-191209152Tb56.png

vYG
$>*  
\G1(r=fU  
VirtualLab Fusion技术 3-2?mV>5  
d _koF-7