摘要
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干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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~i e\[q3J 建模任务
"'Fvt-<^S7 dazML|1ow 9ETdO,L)f 仿真干涉条纹
h'h8Mm (EWGX |QA O^-QqCZE 走进VirtualLab Fusion
5p!{#r6m (VN'1a ( LsIZeL^ c)^A|{,G VirtualLab Fusion中的工作流程
0Q7<;'m G5t7KI •设置输入场
@aUNyyVP −基本光源
模型[教程视频]
1/:vFX •使用导入的数据自定义表面轮廓
*lLCH, •定义元件的位置和方向
=#9#unvE! − LPD II:位置和方向[教程视频]
-nC&t~sD •正确设置通道以进行非
序列追迹
Z9 ws{8@_ −非序列追迹的通道设置[用例]
]O:8o<0 •使用
参数运行检查影响/变化
|-\anby< −参数运行文档的使用[用例]
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^O4HJ C/N;4 ,D`jlY-1l ['\R4H!x VirtualLab Fusion技术
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