摘要
qQi.?<d2"s HBys 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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z)XRx:YU;$ Giq=*D+ 建模任务
DcIvhB p Glq85S $I#q 仿真干涉条纹
)5JU:jNy .,~(%#Wl$ f"7M^1)h2% 走进VirtualLab Fusion
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2Nxm@B` { :0K8h VirtualLab Fusion中的工作流程
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74mf'IW •设置输入场
)5%C3/Dl! −基本光源
模型[教程视频]
Et"?8\"n7 •使用导入的数据自定义表面轮廓
M L7\BT •定义元件的位置和方向
-16K7yk − LPD II:位置和方向[教程视频]
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cz •正确设置通道以进行非
序列追迹
;o/>JHGj −非序列追迹的通道设置[用例]
S~qZr •使用
参数运行检查影响/变化
H$ftGwS8 −参数运行文档的使用[用例]
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I9o6k?$K ~9F ,% VirtualLab Fusion技术
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