[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 l`(pV ;{W  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 'eDV-cB  
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建模任务 &T&>4I!'M  
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仿真干涉条纹 {T'M4y=)i  
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走进VirtualLab Fusion H*R4AE0  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 7j~}M(s
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•设置输入场 e{E8_2d  
−基本光源模型[教程视频] JS#AoPWA  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 KbM1b  
•定义元件的位置和方向 (!"&c* <  
− LPD II：位置和方向[教程视频] {}DoRpq=  
•正确设置通道以进行非序列追迹 rPXy(d1<`S  
−非序列追迹的通道设置[用例] 6X[Mn2wYW  
•使用参数运行检查影响/变化 ;+(EmD:Q  
−参数运行文档的使用[用例] 6#upBF:  
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VirtualLab Fusion技术 h;JO"J@H  
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