摘要
V(L~t=k$ "]LNw=S 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
OZbwquF@ 29Kuq ;6 =oluw|TCe7 A~ '2ki5$g 建模任务
1UJ(._0hR x&l?Cfvv= XU2HWa 仿真干涉条纹
O!d^v9hM, 8.o[K Fz?ON1\ 走进VirtualLab Fusion
|}es+<P K^J;iu 4 N ]}Re$5 )P[B! VirtualLab Fusion中的工作流程
1|;WaO1Q s$C;31k •设置输入场
S"|D!}@- −基本光源
模型[教程视频]
8hQ"rrj+ •使用导入的数据自定义表面轮廓
D?}LKs[ •定义元件的位置和方向
[dk|lkj@u\ − LPD II:位置和方向[教程视频]
/Or76kE •正确设置通道以进行非
序列追迹
KofjveOiC −非序列追迹的通道设置[用例]
f4/!iiS}r •使用
参数运行检查影响/变化
,T|iA/c −参数运行文档的使用[用例]
S? r:=GS 8ji!FZf )Si`>o3T-. PX?tD:,[- VirtualLab Fusion技术
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