摘要
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P[l? 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
$#bgt sz5&P )X ~ jR:oN OZHQnvZ 建模任务
G! y~Y]e (x.O]8GKP 0K0[mC}ZwM 仿真干涉条纹
[sM~B ~@3X&E0S hQm"K~SW= 走进VirtualLab Fusion
aNqhxvwf >bKN$,Qen D~KEjz!bQ U[!x
0M VirtualLab Fusion中的工作流程
D@M
ZTb |{KZ< •设置输入场
kJ;fA|(I −基本光源
模型[教程视频]
1T{A(<:o$ •使用导入的数据自定义表面轮廓
{x$h K98 •定义元件的位置和方向
kW'xuZ& − LPD II:位置和方向[教程视频]
uC_&?
•正确设置通道以进行非
序列追迹
FfDe&/,/ −非序列追迹的通道设置[用例]
X,zqI •使用
参数运行检查影响/变化
pa7Iz^i −参数运行文档的使用[用例]
;ew3^i.du l7{Xy_66 )czuJ5 8P wobln VirtualLab Fusion技术
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