摘要
.rO~a.kG kP [fhOpn 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
<a $!S = FV12(U mxF+F p~ 2IW!EUR 建模任务
Xw'sh#i2 R[l`# I W[DoQ @ q 仿真干涉条纹
Cq/u$G % vy,A* @OT $* Qh 走进VirtualLab Fusion
eq%cRd]u &x\)] i2f u9v,B$ S OET/4( C VirtualLab Fusion中的工作流程
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p>|# ^ _\m@ •设置输入场
w=(dJ(7gu −基本光源
模型[教程视频]
5lD`qY •使用导入的数据自定义表面轮廓
\.i ejB •定义元件的位置和方向
OqMdm~4B!j − LPD II：位置和方向[教程视频]
t^K Qv ~ •正确设置通道以进行非
序列追迹
FO[ s;dmzu −非序列追迹的通道设置[用例]
3GKKC9C6 •使用
参数运行检查影响/变化
24 [cU −参数运行文档的使用[用例]
F7jkl4 D :j5/ * >gL&a#<S /~ WBqcl VirtualLab Fusion技术
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