摘要
lw4#C`bx ;:Kc{B.s 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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6!V0D b1ZHfe: 建模任务
<)@^TRS zH@+\#M ]d&;QZ#w 仿真干涉条纹
ZPY84)A_} ,z0E2 9AQ2FD 走进VirtualLab Fusion
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^}GR!990 6AmFl< VirtualLab Fusion中的工作流程
.:, 9Tf P~"""3de4 •设置输入场
lx~mn~;x −基本光源
模型[教程视频]
Q $>SYvW •使用导入的数据自定义表面轮廓
<^8OYnp •定义元件的位置和方向
An
!i − LPD II:位置和方向[教程视频]
/B •正确设置通道以进行非
序列追迹
It^_?oiK −非序列追迹的通道设置[用例]
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^s •使用
参数运行检查影响/变化
V0:db −参数运行文档的使用[用例]
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vYG$>* \G1(r=fU VirtualLab Fusion技术
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