[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 t}4,]ms  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 9=tIz  
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建模任务 _LnpnL:  
TX/Xt7#R:  
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仿真干涉条纹 t?gic9 q  
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走进VirtualLab Fusion 9FR5Jw>t  
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B[Scr5|  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 kD%( _K5  
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•设置输入场 gD?l-RT>  
−基本光源模型[教程视频] "k@/3  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 u=sp`%?  
•定义元件的位置和方向 j$:~Rek  
− LPD II：位置和方向[教程视频] JbbzV>  
•正确设置通道以进行非序列追迹 $%Kfq[Q  
−非序列追迹的通道设置[用例] 33q}CzK  
•使用参数运行检查影响/变化 e*C(q~PQ  
−参数运行文档的使用[用例] #!# l45p6  
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VirtualLab Fusion技术 jr."I+  
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