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摘要
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*JArR1J +?'a2pUS 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ]?sw<D{ pnpf/T{xpM 建模任务 n,#o6ali> _a\$uVZ
JD)wxoeg |-9##0H 由于组件倾斜引起的干涉条纹 {Q021*xt/ 7Vo[zo
$Zn>W@\ ("s!t?!&YS 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 nmw#4yHYy: AzMX~cd
U!b~vrr^ 3ih:t'N- 文件信息 9Xe|*bT ZdJQ9y
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