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摘要 M);@XcS ~|t7
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vtY._ 3duWk sERC 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ?.%'[n>P V( A p|I:G 建模任务 JVx
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dD{{G:V S+7:fu2?+ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 "spAYk\ \ Rff3$
X;D"}X4(E Pm*N!:u 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 ; M%n=+[O ds9L4zfO
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