摘要
{Ppb ; Onou:kmf1 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
IiJ$Ng _~*j=XR s h:sf?X[ #_UP}G$ 建模任务
0C\cM92o BOP7@ D UZmo?&y 光栅特性与参数的严格分析
2aX$7E? uH,/S4?X 不同光栅周期下的衍射效率
p=#/H,2 s@GE(Pu7 hwQ|'^(@O d$xvM 关于光栅周期选择的考虑
~)[pL(4 X.FoX :(.:bf BwGOn)KL 偏振相关的衍射特性
?L H[,8z bg_io* K w=: c7Y+ S3$C#mHX '.8eLN A f!`7l- 5wE6 gRJ x]?V*Jz 通过参数优化进行光栅设计
g_k95k3V' m7RyFnR2 固定周期的2D参数优化
/u`Opv&I "Mv^S'?> vjh'<5w9Wi 2D参数优化–设计1
6W3."}; c* ~0R? #pPR>,4 Xc^(e?L4 2D参数优化–设计2
X56q,jCJ{ k.Gt}\6zP r2PN[cLu| H4{7,n 制造
公差分析–设计2
VkJTcC:1 M9Yov4k,4] 30(e6T; 4`cf FowK~ 变化光栅周期的3D参数优化
7~ZG"^k m7XN6zX UYQ@ub RU=g|TL 制造公差分析
&9.3-E47* |Xd&aQ Q&%gpa).W t=p"nIE 走进
VirtualLab Fusion
t*6C?zEAU V/R@=[ v]KPA.W
!y!s/i&P% VirtualLab Fusion中的工作流程
!VrBoU4<d eU-A_5 ^BI&-bR@ ,p\*cHB9 •构造光栅
结构 \S~<C[P −通过使用界面来配置光栅结构
ZC^?ng [用例]
2elj@EB,M •分析光栅衍射效率
#SD2b,f −光栅级次分析器[用例]
lb"T'}q •使用参数运行搜索初始解决方案
v yP_qG −参数运行文档的使用[用例]
b~8&P_ •通过参数优化找到最终设计
+ZBj_Vw*| (ijO|%? VirtualLab Fusion技术
~H]d9C j{zVVT