摘要
.;0?r9 Iu`xe 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
Wm/0Y'$r&k =hO0@w <Yk#MeiEp aAr gKM f 建模任务
jz%%r Q( 0]c 2 T Xk_xTzJ 光栅特性与参数的严格分析
~EVD NnHEr f"j"ZM{~U 不同光栅周期下的衍射效率
y%21`y&Os xi.L?"^/! ZV`D} CQ ;L5'3+U 关于光栅周期选择的考虑
cboue
LEt ;/3
< :1eJc2o n\#RI9#\ 偏振相关的衍射特性
yu'2 Jbud_.h9 q89#Ftkt "-'w,g <(YmkOS+ wr/Z)e =^3 4Lo8Eue Ub%al
D 通过参数优化进行光栅设计
Qo!/]\ 8$:4~:]/ 固定周期的2D参数优化
|-Z9-rl <|_/i/H c5?;^a[ 2D参数优化–设计1
ZE@!s3\ .D^=vuxt~ 5TqT`XTzm 2} ,|RQETy 2D参数优化–设计2
2t3'"8xJ d~](S<k ]>NP?S
)R fA!uSqR$V
制造
公差分析–设计2
IS`1}i$1% U5;
D'G @;iW)a_M Y|t] bb 变化光栅周期的3D参数优化
qNP&f8fH bE-{
U/; 8}3dwr;- i]:T{2 制造公差分析
_ECWS fZ aVI/x5p~ ^zv0hGk 2 PpPg ~ix* 走进
VirtualLab Fusion
q<L>r?T[ pei-R .0l0*~[ <KF|QE VirtualLab Fusion中的工作流程
6b9 oSY-8 g@!mV)c97 Y/1KvF4)k A"t~
) •构造光栅
结构 {AbQaw −通过使用界面来配置光栅结构
nPp\IE}: [用例]
*f8;#.Re •分析光栅衍射效率
0oI3Fb;E −光栅级次分析器[用例]
[hs_HYqJ •使用参数运行搜索初始解决方案
-~O7.E(ok −参数运行文档的使用[用例]
5?+ECxPt •通过参数优化找到最终设计
UPs*{m z; 6Tp VirtualLab Fusion技术
jM8e2z3 -lr)z=})