摘要
m#7(<# xnP!P2 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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[,zq lPTx] =G 建模任务
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FcDS*ZEk! 光栅特性与参数的严格分析
\(o"/* 9njwAKF? 不同光栅周期下的衍射效率
kx"10Vw YDt+1Kw}D
*IG$"nu ?e7]U*jEU 关于光栅周期选择的考虑
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NTg@UT< wVf~FssN 偏振相关的衍射特性
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:=*deZ< |c_qq Bd 通过参数优化进行光栅设计
V~J5x >O &d# R'Z 固定周期的2D参数优化
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v3tJtb^'! 2D参数优化–设计1
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TkbaoD PNU(;&2< 2D参数优化–设计2
em$pU*`P 7R+(3NU1A
5j%G7.S\ ,$P,x 制造
公差分析–设计2
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$o^Z$VmL gEA SYIQ 变化光栅周期的3D参数优化
]I*c:(qwu !3v&+Jrf6
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i +n3I\7G> 制造公差分析
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bp1AN9~ 8xpplo8 走进
VirtualLab Fusion
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&y[NCAeA M>Q]{/V7T VirtualLab Fusion中的工作流程
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x uOxHa>h
1GY2aZ@ {K(mfTqm •构造光栅
结构 *[Hrbln −通过使用界面来配置光栅结构
98m|&7 [用例]
K%^n. •分析光栅衍射效率
(!j#u)O −光栅级次分析器[用例]
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*:a[g •使用参数运行搜索初始解决方案
ngY%T5- −参数运行文档的使用[用例]
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)0hsQs •通过参数优化找到最终设计
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@^ VirtualLab Fusion技术
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