摘要
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Jqn 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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"KcSOjvJ yP :>vFd7 建模任务
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>7!4o9)c 光栅特性与参数的严格分析
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1t+]r:{ 不同光栅周期下的衍射效率
<,(6*b &Y\Vh}
_&DI_'5q+ 1u:OzyJy 关于光栅周期选择的考虑
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8c3`IIzAS /FJAI 偏振相关的衍射特性
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"[L[*>[9! \om$%FUP
%a&Yt ,
?WTX 通过参数优化进行光栅设计
/ *Z(;- K%P$#a 固定周期的2D参数优化
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fKY6stJE 2D参数优化–设计1
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|Kky+* +v2Fr} 2D参数优化–设计2
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AYeA)jk a)^f`s^aa 制造
公差分析–设计2
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&~ |G&<@8O 变化光栅周期的3D参数优化
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ZE.nB- H m{9m.~d 制造公差分析
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`*mctjSN \`}Rdr!p% 走进
VirtualLab Fusion
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C, /.9j$iK# VirtualLab Fusion中的工作流程
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Eo
5p- c"Kl@[1\~ •构造光栅
结构 /)sA{q
4 −通过使用界面来配置光栅结构
"aIiW VQ [用例]
A&*lb7X •分析光栅衍射效率
(Gr8JpV −光栅级次分析器[用例]
NNLZ38BV7 •使用参数运行搜索初始解决方案
izy7.(.a −参数运行文档的使用[用例]
;wwhW|A •通过参数优化找到最终设计
_TfG-Ae MlaViw VirtualLab Fusion技术
pp@Jndlg Cx2s5vJX4p