复杂
光栅结构被广泛应用于
光谱仪、近眼显示
系统等领域。VirtualLab Fusion
软件用傅立叶模态法(FMM,或者RCWA)一种简易的
仿真方法来严格分析任意的光栅结构。使用图形用户界面,可以设置堆栈的几何图形,从而生成复杂的光栅结构。 此例程主要用于构建具有二维周期性特征的光栅。
• 光栅工具箱中构建二维光栅的方法 − 基于介质定义的类型 − 基于界面定义的类型
`!A<XiAOmM • 计算之前修改高级选项和检查定义的结构的方法。
6z keWR • 提示:在VirtualLab软件中的光栅结构中,表现为二维周期性的被称作 三维光栅。同样的,层状光栅(一维周期性)被称作二维光栅。
E6Uiw]3 z IT)Hs5 初始化光栅工具箱
?6T\uzL +% • 初始化
:[C"}mR1 − 开始菜单栏 (Start)
|b'}.(/3i 光栅菜单栏(Grating)
9O2??N7f 通用光栅光路图(三维光栅) General Grating Light Path Diagram(3D Gratings)
y}bliN7;1e • 提示:对于特殊类型的光栅,例如柱形光栅,
]w;!x7bU( 可以在光栅工具箱中直接点击柱形光栅光路
P ")1_! 图(三维光栅)(Pillar Grating Light
+l) [A{ Path Diagram(3D Gratings))
"vL,c]D _(%;O:i 设置光栅结构
yJn<S@)VT: ,z0~VS:g 8 • 首先,需要定义基底(Base Block)的厚度和介质。
r(6$.zx • VirtualLab中光栅结构在堆栈(stack) 中定义。
,\Uc/wR • 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同时添加堆栈(stack)。
x@*!MC# • 例如,图中在前表面添加了堆栈(stack)。
zz_(*0,Qcr 基于
材料定义光栅的类型(例程: 柱形光栅)
^Ez`WP 堆栈编辑器
rctGa ,l xh`4s cy
@",z 在堆栈编辑器(Stack Editor)中,界面和材料可以从中目录(catalog) 中添加。
+ko-oZ7V • 为了用一种特殊的介质定义光栅,需要添加两个平面界面,作为介质的边界。
(29BS(|! VSLi{=# 两个平面之间的介质类型可以是均匀介质(homogenous)或者调制介质(modulated)。
PyQ
P K, • 使用调制介质,就可以非常有效地描述复杂光栅结构,如柱形光栅。
柱形光栅介质
IJ E{JH 6O0CF}B* • 在目录类别中LightTrans预设(LightTrans Defined)下柱形介质类(pillar media)中可以添加铬柱(Chromium Pillars)。
fuao*L] • 这种介质可以仿真柱形结构或者在基底表面打孔的结构。
m:x<maP#E • 此例程中,矩形排布的金属铬圆柱位于熔融石英基底表面。
-4!S?rHwd+ • 在堆栈编辑器的视图中,不同材料根据
折射率的高低表示为不同深浅的颜色
uP NZ^lM (颜色越深,折射率越高)。
;*[oi • 注意:堆栈编辑器固定显示x-z平面的横截面视图。
'S#D+oF(1~ F*TkQ\y • 请注意:界面添加的顺序固定由基底表面开始算起。
i8|0zI • 选中的界面会以红色突出显示。
bJ5 VlK67R • 此外,无法在此处定义光栅前面的介质(指
|$+
xVi8 最后一个界面后的介质)。它会自动从光栅部件前面的材料中提取。
e.VR9O]G • 可以在
光学参数设置编辑器(Optical Setup Editor)中更改这处材料。
w gU2q| ,LftQ1*; • 堆栈周期(Stack Period)可以控制整个结构的周期。
E@[ZwTnJ • 对于二维周期性光栅,必须在x和y方向分别定义周期。
ZBsV • 该周期也是FMM算法的周期边界条件。
(t_%8Eu • 对于简单的光栅结构,建议选择与介质周期一致 (Dependent from the Period of Medium) 选项,并选择合适的周期性介质的序号。
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