复杂
光栅结构被广泛应用于
光谱仪、近眼显示
系统等领域。VirtualLab Fusion
软件用傅立叶模态法(FMM,或者RCWA)一种简易的
仿真方法来严格分析任意的光栅结构。使用图形用户界面,可以设置堆栈的几何图形,从而生成复杂的光栅结构。 此例程主要用于构建具有二维周期性特征的光栅。
• 光栅工具箱中构建二维光栅的方法 − 基于介质定义的类型 − 基于界面定义的类型
y ruN5 • 计算之前修改高级选项和检查定义的结构的方法。
6\E |` • 提示:在VirtualLab软件中的光栅结构中,表现为二维周期性的被称作 三维光栅。同样的,层状光栅(一维周期性)被称作二维光栅。
Kvk;D ]$ { !FrI@ 初始化光栅工具箱
]-ZD;kOr • 初始化
Qs,LK(1 − 开始菜单栏 (Start)
~&KfJ 光栅菜单栏(Grating)
L8ZCGW\Rr 通用光栅光路图(三维光栅) General Grating Light Path Diagram(3D Gratings)
{AcKBib • 提示:对于特殊类型的光栅,例如柱形光栅,
lhxhAe 可以在光栅工具箱中直接点击柱形光栅光路
O %)+ w 图(三维光栅)(Pillar Grating Light
H=wmN0s{< Path Diagram(3D Gratings))
G=b`w;oL: >\>HRyt% 设置光栅结构
*1elUI2Rg [IHT)%>E8& • 首先,需要定义基底(Base Block)的厚度和介质。
QDgOprha • VirtualLab中光栅结构在堆栈(stack) 中定义。
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s • 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同时添加堆栈(stack)。
ZNuyGo; • 例如,图中在前表面添加了堆栈(stack)。
V;)'FJ)] 基于
材料定义光栅的类型(例程: 柱形光栅)
6X'RCJu% 堆栈编辑器
Ky$<WZs 9VP|a- KIuYWr7& 在堆栈编辑器(Stack Editor)中,界面和材料可以从中目录(catalog) 中添加。
ETtK%%F0 • 为了用一种特殊的介质定义光栅,需要添加两个平面界面,作为介质的边界。
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4S#6# 6*]Kow? 两个平面之间的介质类型可以是均匀介质(homogenous)或者调制介质(modulated)。
zlXkD~GV • 使用调制介质,就可以非常有效地描述复杂光栅结构,如柱形光栅。
柱形光栅介质
"+)ey>_ s2d;601*b • 在目录类别中LightTrans预设(LightTrans Defined)下柱形介质类(pillar media)中可以添加铬柱(Chromium Pillars)。
YjsaTdZ!& • 这种介质可以仿真柱形结构或者在基底表面打孔的结构。
`T~M:\^D • 此例程中,矩形排布的金属铬圆柱位于熔融石英基底表面。
m=opY~&h • 在堆栈编辑器的视图中,不同材料根据
折射率的高低表示为不同深浅的颜色
a?D\H5TF- (颜色越深,折射率越高)。
Z9! goI • 注意:堆栈编辑器固定显示x-z平面的横截面视图。
us5`?XeX] S"}FsS;k<? • 请注意:界面添加的顺序固定由基底表面开始算起。
,ciNoP*-~% • 选中的界面会以红色突出显示。
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