复杂
光栅结构被广泛应用于
光谱仪、近眼显示
系统等领域。VirtualLab Fusion
软件用傅立叶模态法(FMM,或者RCWA)一种简易的
仿真方法来严格分析任意的光栅结构。使用图形用户界面,可以设置堆栈的几何图形,从而生成复杂的光栅结构。 此例程主要用于构建具有二维周期性特征的光栅。
• 光栅工具箱中构建二维光栅的方法 − 基于介质定义的类型 − 基于界面定义的类型
e~'`x38 • 计算之前修改高级选项和检查定义的结构的方法。
2z.ot' • 提示:在VirtualLab软件中的光栅结构中,表现为二维周期性的被称作 三维光栅。同样的,层状光栅(一维周期性)被称作二维光栅。
gL; Kie6Z +n3I\7G> 初始化光栅工具箱
D:)Wr, 26 • 初始化
Bf_$BCyGW − 开始菜单栏 (Start)
eRauyL"Q+ 光栅菜单栏(Grating)
r-2k<#^r 通用光栅光路图(三维光栅) General Grating Light Path Diagram(3D Gratings)
sE1cvAw9l • 提示:对于特殊类型的光栅,例如柱形光栅,
8xpplo8 可以在光栅工具箱中直接点击柱形光栅光路
8~sP{V% 图(三维光栅)(Pillar Grating Light
&hCbXs= Path Diagram(3D Gratings))
>yIJ8IDF lOIk$"Ne 设置光栅结构
,S)r%[ru^ b}J%4Lx%m • 首先,需要定义基底(Base Block)的厚度和介质。
V5|ANt • VirtualLab中光栅结构在堆栈(stack) 中定义。
,pNx(a • 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同时添加堆栈(stack)。
5xY{Q • 例如,图中在前表面添加了堆栈(stack)。
95DEuReKi 基于
材料定义光栅的类型(例程: 柱形光栅)
u8e_Lqx? 堆栈编辑器
BFLef3~.0 'J|2c;M\x %+7]/_JO&