摘要 2UIZ<#|D>s
\Xe{vlo>h 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
p,tkVedR dA^{}zZu 建模任务 R8 LHwRQ ?Yx2q_KZk 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
=b8u8*ua bYmk5fpRG 焦点区域的探测场 FOteNQTj
uqD|j:~ =k QQ=Kj%R 测试对象的直接反射 lavy?tFer
2D a0*xn{ gD;T"^S+ 测试对象的直接反射 b`JS&E
r?w>x` 1h#/8X 测试对象的像 $KhD>4^jL
j{johV+`8 ("YWJJ'H 测试对象的像 Dbb=d8utE
A%X=yqY xLms|jS 功率测量与测试对象的横向偏移 m2&Vm~Py6b