摘要 (:sZ
b?* /[pqI0sf<A 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
O@&+} D> WS,7dz 建模任务 Mv|!2 [: FPv"N'/ 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
wda';@y5( d2jr8U 焦点区域的探测场 $p$dKH >. DC!QV ijW7c+yd 测试对象的直接反射 O<N#M{kc. k-jahm4 o`? zF+M0 测试对象的直接反射 Ly #_?\bn S/gm.?$V DxS sg 测试对象的像
BIMKsF Zt 2wlKBSON ,8VU&?`<} 测试对象的像 <nzN $"%
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f[jNwb 功率测量与测试对象的横向偏移 iRw&49