摘要 #I453 =(7nl#o 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利，后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光，有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中，我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜，并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
`q<W %'Tb$ T#3@ r0M 建模任务 4RtAwB ML\>TDt 共聚焦扫描显微镜是如何工作的，它如何检测物体横向位移导致的
功率变化？
jci,]*X4 9>9EZ?4m 焦点区域的探测场 `wt so _7;:*'>a4 jmk Ou5@ 测试对象的直接反射 '-RacNY gHstdp_3 f!#! 测试对象的直接反射 @lE'D":? 0Z6geBMc thJ~*
0^ 测试对象的像 ZzupK^5Z J>}J~[ap\J 3*=0`}jMJ 测试对象的像 rjK`t_(= 6ABK)m-y *l+Dbm,u 功率测量与测试对象的横向偏移 h.PBe
