摘要 SOvF[,+ Nu~lsWyRI5 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
K)k<Rh[< ^D-/`d 建模任务 n>U5R_T v1,oilL 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
IRqy%@) PRE|+=w$ 焦点区域的探测场 d9|<@A {U !g.rh Tc3yS(aq 测试对象的直接反射 Z>#i** }|5Pr(I fL7xq$K 测试对象的直接反射 >t_6B~x9 )B8$<sv 4x[S\,20 测试对象的像 G9<X_ \mlqO[ S R]*K:~DM 测试对象的像 i,9)\1R 5bpEYW+ BsYa3d=} 功率测量与测试对象的横向偏移 fvxu#m=