摘要 #UH|,>W6
kV7c\|N9 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
Y_&D W4 #uNQ+US0 建模任务 ,HXY|fYr
Lwgk}!KR 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
-yt[0 Q7`}4c) 焦点区域的探测场 `.+_}.m
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|yiM7U,i EBS04]5ul 功率测量与测试对象的横向偏移 0_Tr>hz