摘要 1D!<'`)AY
c_!cv":s 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利，后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光，有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中，我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜，并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
J`1rJ D*|Bb? 建模任务 _ZkI)o K8Y=S12Ti 共聚焦扫描显微镜是如何工作的，它如何检测物体横向位移导致的
功率变化？
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B Q>1[JW{$} 焦点区域的探测场 vd4ytC
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<B8!.|19 %&t<K3&Yh 功率测量与测试对象的横向偏移 pBA7,z"`mP
