摘要 e+K^A q
V(*(F7+ 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利，后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光，有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中，我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜，并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
g9F?z2^ 2:ylv<\$ 建模任务 vZ L f 4B][S 'f 共聚焦扫描显微镜是如何工作的，它如何检测物体横向位移导致的
功率变化？
|ENh)M8}r +"VP-s0 焦点区域的探测场 [Vt\$
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Ur QFK ;A[Q2( w+ 测试对象的直接反射 QmIBaMI#
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l?w 功率测量与测试对象的横向偏移 as=LIw}Q4
