摘要 O0l;Qi _k@l-Bj 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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0#V^[%Q [}Iq-sz;0 建模任务 DtS{iH=s] zF$wz1
% 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
N|)V/no 6 _
o(h]G1]. 焦点区域的探测场 ]a%Kn]HI&2 _t[%@G>P )K6{_~Kc\ 测试对象的直接反射 m{yON&y v%- V|L #lC{R^SL 测试对象的直接反射 j%h
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/Rz,2jfRx' tSYnc7 测试对象的像
p[GyQ2k) 7L6M#B[)e5 1mV0AE538 测试对象的像 `ouzeu9} [<;2 C T{M:)}V 功率测量与测试对象的横向偏移 /km3L7L%R