摘要 ")MHP~ ? trrNu 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利，后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光，有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中，我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜，并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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:'Gn?dv| 建模任务 y%%VJ}'X! 3>VL>;75[ 共聚焦扫描显微镜是如何工作的，它如何检测物体横向位移导致的
功率变化？
of*T,MUI ? aTH< 焦点区域的探测场 ]pe 7I
P L^t%p1R 3G4WKg. ^ 测试对象的直接反射 Hb*Z _s X8Z) W?vu D+uo gRS61 测试对象的直接反射 V.`hk^V, W[J2>`k9 %T N$ 测试对象的像 E8kD#tL Y<W9L F Awfd0L;9 测试对象的像 DDmC3
0O'M^[=d.8 { 'zS8 功率测量与测试对象的横向偏移 gnN>Rl
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