摘要 2?c##Izn c2E*A+V#u 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
gPT<%F Q{K'# 建模任务 h;C/} s h&|PHI 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
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xa"8"8 焦点区域的探测场 (g HCu
#S4lRVt5 e #!YdXSx 测试对象的直接反射 E&z`BPd mG\$W#+j /BN_K8nb` 测试对象的直接反射 3bU(ea^e$ D,hZVKa @'AjEl:&-_ 测试对象的像
fV(WUN+ o(L8 -F _ J t 测试对象的像 '((pW '73g~T%$^* /}kG$~
功率测量与测试对象的横向偏移 =tS#t+2S