摘要 Kr?TxhUHd 7BE>RE=) 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利，后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光，有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中，我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜，并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
=mO vs d2*fLEsF 建模任务 h=W:^@G +Zb;Vn4 共聚焦扫描显微镜是如何工作的，它如何检测物体横向位移导致的
功率变化？
] ]u
s % /
kF) 焦点区域的探测场 6LvW?z( J y%&q/tk $jjfC 测试对象的直接反射 AuvkecuIh (o 5s"b [@&m4 7 测试对象的直接反射 OC _+("N NpE*fR ') V><,UI=,n 测试对象的像 Me r/G2#& +>8'mf X1DF*wI 测试对象的像 wy<\Tg^J Df}A^G >X S-a]j;U 功率测量与测试对象的横向偏移 5GI, o|[s6
