摘要 f|c{5$N! DU'`ewLL7 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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JYw{a 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
3z?> j] :Yh+>c}N 焦点区域的探测场 xGg )Y# }B+C~@j lvz7#f L~ 测试对象的直接反射 8qTys8 BC.87Fji/ \V8PhO;j 测试对象的直接反射 *Kgks 4 Rtl"Ub@HV zu{P#~21 测试对象的像 J=I:CD% >*_$]E xsbE TP? 测试对象的像 a~}OZ&PG E,U+o $ AJ`h9%B 功率测量与测试对象的横向偏移 5x4yyb'