摘要 pM i w9} ]U,K]y[Bj 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
Ph&fOj=pFb aumXidbS 建模任务 9A4h?/ XFg.Z+ # 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
%ycCNS ~BVK6 焦点区域的探测场 Sl{nS1q %YaUc{.% @MV%&y*z. 测试对象的直接反射 DJ9;{,gm O&:0mpRZ ClH aR 测试对象的直接反射 ZQ^kS9N i i~IQlyGr. lK?
Z38 测试对象的像 /Jc?;@{ FBGHVV
w! !vQ!_|g1 测试对象的像 y%H;o?<WX >q&Q4E0 lbES9o5 功率测量与测试对象的横向偏移 sJlX]\RLQ