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]^I[SG, 内容简介 `Tc"a_p9t Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。
/PZxF 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ~=gpn|@b 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 |SuN3B4e <Y+>a#T 讯技科技股份有限公司 T~)R,OA7m
>(C5&3^ 目录 1-~sj)*k Preface 1 pP^5y{ 内容简介 2 %6E:SI4 目录 i Mu/hTTiNx 1 引言 1 Huf;A1. 2 光学薄膜基础 2 <b_?[%(u 2.1 一般规则 2 n7pjj 2.2 正交入射规则 3 gfQ1p ? 2.3 斜入射规则 6 HleMzykF 2.4 精确计算 7 fF.sT7Az+ 2.5 相干性 8 ?6 //'bO:% 2.6 参考文献 10 >DoP2] 3 Essential Macleod的快速预览 10 /-&2>4I 4 Essential Macleod的特点 32 n..R'vNj 4.1 容量和局限性 33 :Hj #1-U 4.2 程序在哪里? 33 XvI Y=~ 4.3 数据文件 35 qL~|bfN 4.4 设计规则 35 Qq3UC%Z1 4.5 材料数据库和资料库 37 4%5 + 4.5.1材料损失 38 \CrWKBL 4.5.1材料数据库和导入材料 39 }ZJ*N Y 4.5.2 材料库 41 !#dp[,nk 4.5.3导出材料数据 43 VF:95F;@ 4.6 常用单位 43 PGhYkj2 4.7 插值和外推法 46 `Hd~H 4.8 材料数据的平滑 50 U:uFrb, 4.9 更多光学常数模型 54 v)<|@TD) 4.10 文档的一般编辑规则 55 WT jy"p* 4.11 撤销和重做 56 1"~$(@oxG 4.12 设计文档 57 5G l:jRu 4.10.1 公式 58 ,D2nUk 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 G<Y}QhFU 4.10.3 沉积密度 59 kHd`k.nW 4.10.4 平行和楔形介质 60 3M5wF6nY[[ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 sF~!qag4q' 4.10.4 性能 61 ;&$f~P Q 4.10.5 保存设计和性能 64 d$:LUxM# 4.10.6 默认设计 64 U3BhoD#f\ 4.11 图表 64 IC+!XZqS 4.11.1 合并曲线图 67 fT.MglJcb 4.11.2 自适应绘制 68 Z ty9O8g 4.11.3 动态绘图 68 rb*;4a 4.11.4 3D绘图 69 Zu|qN*N4 4.12 导入和导出 73 qe |U*K
2_ 4.12.1 剪贴板 73 /&W~:F 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 r*{`_G=1
4.12.3 不通过剪贴板导出 76 =)nJ'}x 4.13 背景 77 yZc#@R[0 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 >J/8lS{# 4.15 生成Rugate 84 .zsYVtK 4.16 参考文献 91 w+iIay 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
Z31a4O 5.1 Jobs 92 6@FGt3y 5.2 创建一个新Job(工作) 93 1t} 5.3 输入材料 94 *vOk21z77d 5.4 设计数据文件夹 95 f7:}t+d 5.5 默认设计 95 ##nC@h@ 6 细化和合成 97 RKy!=#;17 6.1 优化介绍 97 qm< mw"] 6.2 细化 (Refinement) 98 C/MQY:X4 6.3 合成 (Synthesis) 100 Xo3@-D_c!c 6.4 目标和评价函数 101 rDv`E^\ 6.4.1 目标输入 102 >DR$}{IV 6.4.2 目标 103 aUq2$lw1 6.4.3 特殊的评价函数 104 + P<#6<gR 6.5 层锁定和连接 104 $'3'[Nr(;t 6.6 细化技术 104 }z5u^_-m 6.6.1 单纯形 105 =s&ycc;-5} 6.6.1.1 单纯形参数 106 7sU,<Z/D 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 +h8`8k'}-2 6.6.2.1 Optimac参数 108 jmF)iDvjuZ 6.6.3 模拟退火算法 109 #wp~lW9!s9 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Rp0^Gwa 6.6.4 共轭梯度 111 =3EjD;2 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 rp=Y } 6.6.5 拟牛顿法 112 v {)8QF] 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 )j. .)o 6.6.6 针合成 113 Bo8NY! 6.6.6.1 针合成参数 114 NRazI_Z 6.6.7 差分进化 114 K9ek 6.6.8非局部细化 115 hG>kx8h 6.6.8.1非局部细化参数 115 u>/Jb+ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 =3dd1n;8> 6.7.1 细化 116 kAq#cLprG 6.7.2 合成 117 -PTfsQk 6.8 参考文献 117 OO\$'%
y` 7 导纳图及其他工具 118 N v6=[_D 7.1 简介 118 Z29aRi 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 b8!
7.2.1 四分之一波长规则 119 q4Mv2SPT
7.2.2 导纳图 120 ij?Ww'p9> 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 W&v|-#7=6 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 s7,D}Zz 7.5 斜入射导纳图 141 3~?m?vj|Y 7.6 对称周期 141 *!ecb1U5 7.7 参考文献 142 ZE9.r` 8 典型的镀膜实例 143 V=<AI.Z:w 8.1 单层抗反射薄膜 145 Y]DC; , 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 q@1xYz:J 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 !C ZFbz~: 8.4 W-膜层 148 gt\kTn." 8.5 V-膜层 149 ]KQQdr 8.6 V-膜层高折射基底 150 KW/LyiP# 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 |,tKw4 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 3Hi8=* 8.9 四层抗反射薄膜 153 lIPz" 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 7&u$^c S( 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ] !n3j=* 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 hii#kB2 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Hwcm t!y 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 :*s@L2D6 8.15十五层宽带抗反射膜 159 @2;cv?i) 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 z\$( @:{A 8.17 1/4波长堆栈 162 )iFXa<5h 8.18 陷波滤波器 163 $W%-Mm 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 6[?5hmc"w 8.20 褶皱 165 3,n" d- 8.21 消偏振分光器1 169 MG~bDM4 8.22 消偏振分光器2 171 ';v1AX}5q 8.23 消偏振立体分光器 172 BN~ndWRK 8.24 消偏振截止滤光片 173 4W}mPeEeV 8.25 立体偏振分束器1 174 .y lvJ$ 8.26 立方偏振分束器2 177 qae|?z 8.27 相位延迟器 178 mtdy@=?1Y 8.28 红外截止器 179 GWv i
8.29 21层长波带通滤波器 180 ,T$ GOjt 8.30 49层长波带通滤波器 181 '8[;
m_S 8.31 55层短波带通滤波器 182 iB` EJftI! 8.32 47 红外截止器 183 a ," 8.33 宽带通滤波器 184 S&QXf<v 8.34 诱导透射滤波器 186 zRbY]dW 8.35 诱导透射滤波器2 188 `YqXF=- 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 pw`'q(ad 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 6b9J3~d\E 8.35 增益平坦滤波器 193 ,RW`9+gx 8.38 啁啾反射镜 1 196 LR';cR; 8.39 啁啾反射镜2 198 .h\Py[h<^ 8.40 啁啾反射镜3 199 D$@2H>.- 8.41 带保护层的铝膜层 200 VJ?>o 8.42 增加铝反射率膜 201 +(y8q 8.43 参考文献 202 N9*:]a 9 多层膜 204 vPc*x5w- 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ]k'^yc{5 9.2 内部透过率 204 `5!AHQ/ 9.3 内部透射率数据 205 H \'1.8g/ 9.4 实例 206 [P6m8%Y|s 9.5 实例2 210 w*&vH/D 9.6 圆锥和带宽计算 212 1b86@f 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ^bP`Iv 10 光学薄膜的颜色 216 <fF|AbC: 10.1 导言 216 K?r 10.2 色彩 216 WdlGnFAWh 10.3 主波长和纯度 220 '#=0q 10.4 色相和纯度 221 bE{YK 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 MTKNIv| 10.6 色差 226 P$Oj3HD LM 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 -e_op'` 10.8 颜色渲染指数 234 W6_ rSVm 10.9 色差计算 235 jU* D 10.10 参考文献 236 DR,7rT{$ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
{f@Q&(g 11.1 短脉冲 238 ?~4x/d% 11.2 群速度 239 5+;Mc[V3- 11.3 群速度色散 241 #9Ect@?N0 11.4 啁啾(chirped) 245 2ij&Db/ 11.5 光学薄膜—相变 245 s]|tKQGl, 11.6 群延迟和延迟色散 246 6B|i-b$~ 11.7 色度色散 246 {dm>]@"S 11.8 色散补偿 249 :~#)Xa0I 11.9 空间光线偏移 256 w52py7 11.10 参考文献 258 x^1d9Z 12 公差与误差 260 p$qk\efv*4 12.1 蒙特卡罗模型 260 N-_APWA 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 m C`*#[ 12.2.1 误差工具 267 bX,#z, 12.2.2 灵敏度工具 271 CtV|oeJ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 r-TrA$k 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Ff(};$/&W 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 MfHOn YV 12.3 参考文献 276 +L`}(yLJ)9 13 Runsheet 与Simulator 277 {Dk!<w I) 13.1 原理介绍 277 '^>}
=f 13.2 截止滤光片设计 277 goA=U 14 光学常数提取 289 ft1#f@b. 14.1 介绍 289 h`dQOH# 14.2 电介质薄膜 289 T^(W _S 14.3 n 和k 的提取工具 295
Dmr*Lh~ 14.4 基底的参数提取 302 RL/y7M1j 14.5 金属的参数提取 306 ~!qnKM>[ 14.6 不正确的模型 306 iC/*d 14.7 参考文献 311 _+NjfF| 15 反演工程 313 r)>3YM5 15.1 随机性和系统性 313 5RFro^S9E 15.2 常见的系统性问题 314 , ?U)mYhI 15.3 单层膜 314 {H)hoAenA 15.4 多层膜 314 !%ju.Xs8 15.5 含义 319 EJ#I7_ 15.6 反演工程实例 319 ]& ckq 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 mL2J 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ,?er AI 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ;Vs2e 16.1 光学性质的热致偏移 329 \fiy[W/k 16.2 应力工具 335 ^4+NPk
16.3 均匀性误差 339 hTzj{}w 16.3.1 圆锥工具 339 dk
nM| 16.3.2 波前问题 341 J8p; 1-C" 16.4 参考文献 343 *$BUow/> 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 G}g;<,g~ 17.1 引言 345
Um{) ?1 17.2 操作数 345 GEF's#YWK 18 如何在Function中编写脚本 351 Eu'E;*-f 18.1 简介 351 3*~`z9-z 18.2 什么是脚本? 351 {$hWz ( 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Gd_0FF . 18.4 基础 352 ?'+]d;UO& 18.4.1 Classes(类别) 352 R/Bjc}J' 18.4.2 对象 352 4KtD
k 18.4.3 信息(Messages) 352 n=V|NrU 18.4.4 属性 352 2Ax"X12{6 18.4.5 方法 353
8sG?|u 18.4.6 变量声明 353 ?Y3i-jY 18.5 创建对象 354 $q:l \ 18.5.1 创建对象函数 355 hmo4H3g!N 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 L?+N:G
18.5.3 丢弃对象 356 rHB>jN@$ 18.5.4 总结 356 py:L-5 18.6 脚本中的表格 357 .1RQ}Ro,< 18.6.1 方法1 357 q"<=^vi 18.6.2 方法2 357 Lw,}wM5X 18.7 2D Plots in Scripts 358 m(U.BXo 18.8 3D Plots in Scripts 359 SNOc1c<~ 18.9 注释 360 H\oxj,+N 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 :38h)9>RK 18.11 一个更高级的脚本 362 E> GmFw 18.12 <esc>键 364 <Y7j' n 18.13 包含文件 365 U1y!R<qlp 18.14 脚本被优化调用 366 t2)uJN`a$X 18.15 脚本中的对话框 368 6Q7=6 18.15.1 介绍 368 a<q9~QS 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ]pBEoktp 18.15.3 输入框函数 370 !~9ASpqvPy 18.15.4 自定义对话框 371 5@%Gq)z5 18.15.5 对话框编辑器 371 d9:I.SA)E 18.15.6 控制对话框 377 -LRx}Mb9 18.15.7 更高级的对话框 380 Ve%ua]qA 18.16 Types语句 384 j!i*& 18.17 打开文件 385 /)J]ItJlz 18.18 Bags 387 >8I~i:hn 18.13 进一步研究 388 d.~ns4bt9 19 vStack 389 G<-KwGy,D 19.1 vStack基本原理 389 h<3b+*wYJC 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 g 4=1['wW 19.3 五棱镜 393 a5/, O4Q 19.4 光束距离 396 #Mn?Nn 19.5 误差 399 'yX\y
6I 19.6 二向分色棱镜 399 WUie`p 19.7 偏振泄漏 404 Y+Z+Y)K 19.8 波前误差—相位 405 b'+Wf#.]f0 19.9 其它计算参数 405 y4jiOhF<d 20 报表生成器 406 1/?Wa 20.1 入门 406 WLXt@dK*u 20.2 指令(Instructions) 406 f\=
@jV 20.3 页面布局指令 406 ,H"}Rw 20.4 常见的参数图和三维图 407 ##Pzc~xSn 20.5 表格中的常见参数 408 P_0X+Tz 20.6 迭代指令 408 ffL]_E 20.7 报表模版 408 &%j`WF4p 20.8 开始设计一个报表模版 409 O713'i 21 一个新的project 413 A4@z+ebb l 21.1 创建一个新Job 414 k8}fKVU; 21.2 默认设计 415 ];Noe9o 21.3 薄膜设计 416 =<H ekiYM 21.4 误差的灵敏度计算 420 !`=iKe&%E 21.5 显色指数计算 422 6/L[`n"G 21.6 电场分布 424 uo]\L^j 后记 426 ;~:Z~8+{c 2EpQ(G
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