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双螺旋(DH) PSF工程在纵向上为三维成像提供了高分辨率,它可以通过在光瞳平面上增加一个带有漩涡的相位掩膜来产生[Ginni Grover等,Opt. Exp. 2012]。VirtualLab Fusion提供了一种快速方便的方法来计算高NA显微镜系统小离焦的DH PSFs。这个用例说明了DH-PSFs在离焦约130nm时有明显的变化。 hYht8?6}m
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建模任务 AU1U?En
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在VirtualLab Fusion中构建系统 vSu
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系统构建块 L^jjf8_
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元件解算器 g<N;31:c\
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利用光线追迹进行几何光学仿真 ]OtnekkK$
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结果:几何光线追迹 W,|+Dl
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利用场追迹进行物理光学仿真 u"uL,w
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不同离焦像面的双螺旋PSF j4<K0-?
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