摘要 )B
$Q
mvH8hvD9
显微系统的分辨率一般用阿贝判据进行表征。这也解释了物镜的数值孔径(NA)决定了光栅(作为样本)衍射阶在其后焦平面上的滤波。当高衍射级次的衍射被滤除后,像面不会发生干涉,因此不会成像。本实例演示了数值孔径NA对滤波效果和分辨率的影响。 G7CkP
glCpA$;VPu
mW!n%f
k^|z.$+
1. 案例 !HU$V9C
Htr]_<@
RuYIG?J=/
hfI=9x/
在VirtualLab Fusion中构建系统 ?"
4X&6xl
7xO05)bz
1. 系统构建模块 PcA^ jBgGl
@2.
:fK
-h7ssf'u[
^@8XJ[C,_
2. 组件连接器 L&s~j/pR
5ZkR3/h e
@k;65'"Q
7"2BZ
几何光学仿真 ?xUl_
f_O|
以光线追迹 wxcJ2T d H
mK$E&,OkA
1. 结果:光线追迹 i/-IjgM"-
Uv[a
~'
y
_ap T<P
`q]' ^EzJ
快速物理光学仿真 XdThl
\EU3i;BNT%
以场追迹 `:7r5}(^
\y?*} L
1. NA=1.4时的光栅成像 *:d``L
BMO,eQcB
MOB4t|
_Zav Y<6
2. NA=0.75时的光栅成像 Pi=FnS
qspGNu
@bTm.3
V<|N}8{Z2a
3. NA=0.5时的光栅成像 p_BG#dRM
TJRp/BP