[技术]用阿贝判据研究显微系统的分辨率 [复制链接]

摘要 S,a:H*Hf  
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显微系统的分辨率一般用阿贝判据进行表征。这也解释了物镜的数值孔径(NA)决定了光栅(作为样本)衍射阶在其后焦平面上的滤波。当高衍射级次的衍射被滤除后，像面不会发生干涉，因此不会成像。本实例演示了数值孔径NA对滤波效果和分辨率的影响。 h${=gSJc  
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1. 案例 fwa*|y;  
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  j(M.7Z7^  
在VirtualLab Fusion中构建系统 IYr}%:P)  
xU(b:D Z  
1. 系统构建模块 EoS6t  
+6n\5+5  

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n]>L"D,  
( efxw  
2. 组件连接器 k,ezB+  
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p<y\^a  
  J0o,ZH9  
几何光学仿真 <oSx'_dc  
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以光线追迹 *Xn6yL9  
PO|gM8E1x?  
1. 结果：光线追迹 `3z6y&dmx  
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zQ(`pld  
  -a'D~EGB^  
快速物理光学仿真 {s=c!08=  
`1#Z9&bO  
以场追迹 kPO+M~+n  
V@\u<LO0G  
1. NA=1.4时的光栅成像 Ql,WKoj*  
*q@3yB}  

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]@CXUa,>a  
}|nEbM]#  
2.  NA=0.75时的光栅成像 oq,*@5xV2  
is^5TL%@  

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H;+98AIy`  
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3. NA=0.5时的光栅成像 +=*ND<$n/E  
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