摘要 n-2!<`UFX
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显微系统的分辨率一般用阿贝判据进行表征。这也解释了物镜的数值孔径(NA)决定了光栅(作为样本)衍射阶在其后焦平面上的滤波。当高衍射级次的衍射被滤除后,像面不会发生干涉,因此不会成像。本实例演示了数值孔径NA对滤波效果和分辨率的影响。 o2B|r`R
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1. 案例 *^Zt)U1$|
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在VirtualLab Fusion中构建系统 hSxK*.W*3
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1. 系统构建模块 utRO?]%d
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2. 组件连接器 b:'8_jL
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几何光学仿真 "9dZ
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以光线追迹 y`8U0TE3R
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1. 结果:光线追迹 $[b}r#P
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快速物理光学仿真 GFE3p
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以场追迹 $L( ,lB
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1. NA=1.4时的光栅成像 }"nm3\Df
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2. NA=0.75时的光栅成像 ^`M%g2x
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3. NA=0.5时的光栅成像 Jw}&[
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