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    [技术]TRCX应用:显示面板工艺裕量分析 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 03-04
    制造显示面板的主要挑战之一是研究由工艺余量引起的主要因素,如CD余量,掩膜错位和厚度变化。TRCX提供批量模拟和综合结果,包括分布式计算环境中的寄生电容分析,以改善显示器的电光特性并最大限度地减少缺陷。 (CY D]n  
    x^EW'-a  
    (a)参照物
    b9m`y*My  
    ~J&-~<%P}  
    (b)膜层未对准
     
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