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4\N_ G
@ 内容简介 Yb[n{.%/g Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 $n= O 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 (kIz 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 mG)8U{L Di*]ab 讯技科技股份有限公司 N = LM?(H
V+lRi"m?| 目录 ^qxdmMp)l Preface 1 m0A# 6=< 内容简介 2 dv;9QCc' 目录 i XOrcygb2 1 引言 1 :l+_ja&o 2 光学薄膜基础 2 E4+b-?PB~ 2.1 一般规则 2 )Zas
x6` 2.2 正交入射规则 3 XHs d- 2.3 斜入射规则 6 90~*dNk 2.4 精确计算 7 H]s4% 9T 2.5 相干性 8 qZaO&"q 2.6 参考文献 10 }A|))Ao| 3 Essential Macleod的快速预览 10 (ZV;$N-t 4 Essential Macleod的特点 32 `=79i$,,t
4.1 容量和局限性 33 nv"G;W 4.2 程序在哪里? 33 +?;j&p 4.3 数据文件 35 .o}%~g <d 4.4 设计规则 35 0[/vQ+O ]2 4.5 材料数据库和资料库 37 {FWyu5. 4.5.1材料损失 38 :NuR>~ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 c45tmul 4.5.2 材料库 41 K;x~&G0= 4.5.3导出材料数据 43 2F1ZAl 4.6 常用单位 43 W;q+, Io 4.7 插值和外推法 46 ibJl;sJ 4.8 材料数据的平滑 50 P@gtdi(Q 4.9 更多光学常数模型 54 &<Mt=(qY1 4.10 文档的一般编辑规则 55 nq'M?c#E 4.11 撤销和重做 56 e*:}$u8a 4.12 设计文档 57 zPVd(V~(T 4.10.1 公式 58 'M8aW!~ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 WSLy}@`Vx 4.10.3 沉积密度 59 1}!L][( 4.10.4 平行和楔形介质 60 Z:@6Lv?CN 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 MiJ6 n[iv 4.10.4 性能 61 WL l_'2h 4.10.5 保存设计和性能 64 &~#iIk~% 4.10.6 默认设计 64 G>%AZr{M 4.11 图表 64 uEx9-,! 4.11.1 合并曲线图 67 xc;DdK=1X 4.11.2 自适应绘制 68 zDDK 4.11.3 动态绘图 68 G2]^F Y 4.11.4 3D绘图 69 s qpGrW. 4.12 导入和导出 73 V^n0GJNo 4.12.1 剪贴板 73 (#o t^ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ,r=re!QI7 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ',ZF5T5z@ 4.13 背景 77 WPo:^BD 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 bLbR IY"l 4.15 生成Rugate 84 Ma6W@S 4.16 参考文献 91 kUa)smh 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 9t K>gwb 5.1 Jobs 92 rbyY8
bX 5.2 创建一个新Job(工作) 93 /r^[a,Q#x 5.3 输入材料 94 5&!'^! 5.4 设计数据文件夹 95 #cU^U#;= r 5.5 默认设计 95 %d;<2b0 6 细化和合成 97 b5pMq$UVL 6.1 优化介绍 97 UTCzHh1 6.2 细化 (Refinement) 98 t> .
Fl- 6.3 合成 (Synthesis) 100 !msNEE@[ 6.4 目标和评价函数 101 | o0RP|l 6.4.1 目标输入 102 i#W*' 6.4.2 目标 103 ;`(R7X
*3 6.4.3 特殊的评价函数 104 6|!NLwa 6.5 层锁定和连接 104 }`o?/!X 6.6 细化技术 104 JA^v 6.6.1 单纯形 105 e1/sqXWo 6.6.1.1 单纯形参数 106 `8:K[gp 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 30Drrno7Io 6.6.2.1 Optimac参数 108 T3N"CUk 6.6.3 模拟退火算法 109 1 ] #9
6.6.3.1 模拟退火参数 109 8TWTbQ 6.6.4 共轭梯度 111 2YOKM#N] 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 _xrwu;o0} 6.6.5 拟牛顿法 112 Y3'," 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 A:# k 6.6.6 针合成 113 " aq'R(/`c 6.6.6.1 针合成参数 114 )TJS4? 6.6.7 差分进化 114 Rc[ 0aj: 6.6.8非局部细化 115 Br5o7(AE 6.6.8.1非局部细化参数 115 2.lgT|p 6.7 我应该使用哪种技术? 116 -rSIBc:$8 6.7.1 细化 116 $_D6_|HK 6.7.2 合成 117 1;lmu]I>) 6.8 参考文献 117 >#(n"RCHf 7 导纳图及其他工具 118 `tEo]p 7.1 简介 118 bRo|uJ:d 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 nJZ6?
V 7.2.1 四分之一波长规则 119 jQh^WmN 7.2.2 导纳图 120 sL^yB 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ~i0R^qfr 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 0g=`DSC<( 7.5 斜入射导纳图 141 Ev9> @~^ 7.6 对称周期 141 ^3]UZ@ 7.7 参考文献 142 6'C2SihYp 8 典型的镀膜实例 143 h|;qG)f^ 8.1 单层抗反射薄膜 145 K#mOSY;} 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 8g~EL{' 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 E JK0 8.4 W-膜层 148 Pbu{'y3J 8.5 V-膜层 149 V416g |lBO 8.6 V-膜层高折射基底 150 <a^Oj LLU 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 OMrc_)he\ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 )3A{GZj#6 8.9 四层抗反射薄膜 153 jd-glE,Y/ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 </"4 zD| 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Vb|#MNf) 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
CE%_A[a 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 e Y$qV} 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 h9s >LY 8.15十五层宽带抗反射膜 159 g);^NAA 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 )_7>nuQ6 8.17 1/4波长堆栈 162 (bp9Pj w 8.18 陷波滤波器 163 3ec`Wa
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 TbvtqM 0 8.20 褶皱 165 [bz T&o 8.21 消偏振分光器1 169 <|B1wa:| 8.22 消偏振分光器2 171 ,e722wz 8.23 消偏振立体分光器 172 IE2"rQ T 8.24 消偏振截止滤光片 173 J([s5:.[ 8.25 立体偏振分束器1 174 /=?x{(B> 8.26 立方偏振分束器2 177 c=O,;lWFqm 8.27 相位延迟器 178 S>Yj@L 8.28 红外截止器 179 XXZaKgsq 8.29 21层长波带通滤波器 180 23F/\2MSG 8.30 49层长波带通滤波器 181 .="bzgC3A 8.31 55层短波带通滤波器 182 O[^%{' 8.32 47 红外截止器 183 wK_]/Q-L 8.33 宽带通滤波器 184 u+m,b76 8.34 诱导透射滤波器 186 fxcc<h4 8.35 诱导透射滤波器2 188 4,Ic}CvM 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 "SxLN
8.: 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 X2sH E 8.35 增益平坦滤波器 193 kOwMs<1J 8.38 啁啾反射镜 1 196 1{x.xi"A/ 8.39 啁啾反射镜2 198 {Ro2ouQ!V 8.40 啁啾反射镜3 199 thlY0XCq,% 8.41 带保护层的铝膜层 200 [lzN !!B! 8.42 增加铝反射率膜 201 d*8 $>GA 8.43 参考文献 202 OR1DYHHT/1 9 多层膜 204 ZUm?*.g\^ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 B!]2Se2G 9.2 内部透过率 204 n.MRz WJpZ 9.3 内部透射率数据 205 796\jf$ 9.4 实例 206 *iO u' 9.5 实例2 210 d[^KL;b?6 9.6 圆锥和带宽计算 212 Jzji&A~ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 MM_k
]-7 10 光学薄膜的颜色 216 ?t&kb7 10.1 导言 216 Qd _6)M- 10.2 色彩 216 \W5O&G-C 10.3 主波长和纯度 220 8`>h}Q$ 10.4 色相和纯度 221 &F:IIo7 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 p@!nYPr. 10.6 色差 226 `_I@i]i^ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Y_&g="`Q 10.8 颜色渲染指数 234 5@IB39 10.9 色差计算 235 "xI" 10.10 参考文献 236 M-L2w" 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 wcSyw2D 11.1 短脉冲 238 {'sY|lou 11.2 群速度 239 e1(Q(3 11.3 群速度色散 241 ='ZRfb& 11.4 啁啾(chirped) 245 *K!|@h{60 11.5 光学薄膜—相变 245 u@'0Vk0zGH 11.6 群延迟和延迟色散 246 W:,4 :|3 11.7 色度色散 246 ;h6v@)#GX 11.8 色散补偿 249 ;7]u!Q 11.9 空间光线偏移 256 (/!r(#K0,' 11.10 参考文献 258 &X@Bs- 12 公差与误差 260 6*4's5>?D 12.1 蒙特卡罗模型 260 oF9
-& 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 qf@q]wtar 12.2.1 误差工具 267 H&1[nU{?> 12.2.2 灵敏度工具 271 <?-YTY| 12.2.2.1 独立灵敏度 271 =L%DX#8 12.2.2.2 灵敏度分布 275 geQ{EwO8n 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 =ph&sn$;L 12.3 参考文献 276 ;AR{@Fu. 13 Runsheet 与Simulator 277 ]V %.I_ 13.1 原理介绍 277 ](tx<3h 13.2 截止滤光片设计 277 ZUz ^!d 14 光学常数提取 289 _{t9 x\= 14.1 介绍 289 Tus}\0/i> 14.2 电介质薄膜 289 IEKU-k7}Z 14.3 n 和k 的提取工具 295 >_rha~ 14.4 基底的参数提取 302 i|w8.}0 14.5 金属的参数提取 306 xq-17HKs 14.6 不正确的模型 306 [Vd[- 14.7 参考文献 311 ur
:i)~wXn 15 反演工程 313 =U8a ?0 15.1 随机性和系统性 313 s]m o$ _na 15.2 常见的系统性问题 314 Q9I
j\HbA" 15.3 单层膜 314 3iw{SEY 15.4 多层膜 314 }kw/W#)J 15.5 含义 319 Um1[sMc{au 15.6 反演工程实例 319 ;\EiM;Q] 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 4h@Z/G!T3 15.6.2 反演工程提取折射率 327 .s#;s'>g 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 jV.g}F+1m 16.1 光学性质的热致偏移 329 {x'GJtpb 16.2 应力工具 335 Fk(JSiU 16.3 均匀性误差 339 (P&4d~)m 16.3.1 圆锥工具 339 9lB]~,z 16.3.2 波前问题 341 kb[P\cRa 16.4 参考文献 343 R@Gq)P9? 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 91Uj}n% 17.1 引言 345 .sQ=;w/ZA 17.2 操作数 345 /R>nr" 18 如何在Function中编写脚本 351 |F9z,cc" 18.1 简介 351 :2njp% 18.2 什么是脚本? 351 4w#``UY)' 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 u:aW 8 18.4 基础 352 ,J`'Y+7W 18.4.1 Classes(类别) 352 Zy|Mz& 18.4.2 对象 352 ^Rx9w!pAN 18.4.3 信息(Messages) 352 SP|<Tny 18.4.4 属性 352 -P&6L\V 18.4.5 方法 353 _+
.\@{c 18.4.6 变量声明 353 "t^URp3 18.5 创建对象 354 5,)Qw 18.5.1 创建对象函数 355 ,f1q)Qf 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ,39aF*r1Q 18.5.3 丢弃对象 356 _fZZ_0\Q 18.5.4 总结 356 =]-j;#'& 18.6 脚本中的表格 357 Bi@&nAhn@ 18.6.1 方法1 357 "5eNLqt^q 18.6.2 方法2 357 0i8LWX_M 18.7 2D Plots in Scripts 358 a_h]?5
:c 18.8 3D Plots in Scripts 359 C>[Uvc 18.9 注释 360 `vc
"Q/ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 JHf 18.11 一个更高级的脚本 362 Q,& |